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화합물 반도체 에피기술 동향 원문보기

전기전자재료 = Bulletin of the Korean institute of electrical and electronic material engineers, v.28 no.10, 2015년, pp.3 - 9  

박형호 (한국나노기술원 응용소자개발실)

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문제 정의

  • 본고에서는 에피기술을 정의한 후 에피성장 방법과 광소자용 에피기술 동향 및 시장에 대해서 알아보고, III-V 족 화합물 반도체의 나노융합 에피소자와 관련된 연구동향과 주요 이슈를 정리해 보며, 향후 나아갈 방향 등에 대해 생각해 보고자 한다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
II-VI 족 화합물 반도체에는 무엇이 있는가? 그림 1의 주기율표에 도시한 바와 같이 II-VI 족 화합물 반도체로는 ZnO, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdSe, CdTe, HgTe, MgS, MgSe, CaS, III-V 족으로는 BN, AlN, GaN, InN, AlP, AlAs, AlSb, GaP, GaAs, GaSb, InP, InAs, InSb, IV-IV족으로는 SiC, SiGe, GeSn 등의 조합인 2원계 화합물로 이루어져 있다.
차세대 나노반도체 융합소자인 나노융합 에피소자는 어디에 사용될 수 있는가? 나노융합 에피소자는 성능적으로 초고속, 초고전력, 고효율 광 특성을 활용한 발광, 통신, 센싱, 바이오 검사 등을 수행하는 데 사용되며 자동차, 로봇, 스마트폰, 태블릿 PC, 건강관리 및 진단, 보안용 전자기기 등 주요 제품에 활용된다.
화합물 반도체란? 화합물 반도체 (Compound Semiconductor)란 2종 이상의 원소로 이루어진 반도체를 총칭하며, 크게 II-VI족, III-V족, IV-IV족으로 구분된다.
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