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NTIS 바로가기한국산업보건학회지 = Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene, v.25 no.3, 2015년, pp.294 - 300
최광민 (삼성전자 건강연구소) , 정명구 (삼성전자 건강연구소) , 안희철 (삼성전자 건강연구소)
Objectives: The aim of this study is to identify physicochemical properties such as chemical composition, size, shape and crystal structure of powder byproducts generated from a metallization process and its 1st scrubber in the semiconductor industry. Methods: Powder samples were collected from inne...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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1차 스크러버 설비의 한계점은 무엇인가? | 여기서 1차 스크러버는 공정에 사용된 후 배기되는 각종 화학물질을 인체 및 환경에 유해하지 않도록 처리하는 설비이다. 하지만, 이러한 오염제거 시스템에도 불구하고, 공정 잔류 화학물질 및 부산물을 설비 내부로부터 완전히 제거하는 것은 불가능하기 때문에, 반응 챔버를 열어서 진행하는 설비 유지보수 작업 시에 반응 잔여물 또는 부산물의 공기 중 노출 및 작업자 흡입 영향성을 고려해야 한다(Park et al., 2011a; 2012b; 2014c). | |
1차 스크러버란 무엇인가? | 이러한 화학물질(또는 제품)이 반도체 공정에 사용되는 과정에서 반응 챔버 내 잔류한 물질 및 화학물질간의 반응에 의해 생성된 다양한 부산물이 반도체 제품불량을 유발할 수 있기 때문에 사전 예방을 위해 설비 내 배기시스템 가동, 반응 챔버 내 밀폐상태에서의 세정, 정기적인 생산설비 및 1차 스크러버와 같은 부대설비의 유지보수를 진행하고 있다. 여기서 1차 스크러버는 공정에 사용된 후 배기되는 각종 화학물질을 인체 및 환경에 유해하지 않도록 처리하는 설비이다. 하지만, 이러한 오염제거 시스템에도 불구하고, 공정 잔류 화학물질 및 부산물을 설비 내부로부터 완전히 제거하는 것은 불가능하기 때문에, 반응 챔버를 열어서 진행하는 설비 유지보수 작업 시에 반응 잔여물 또는 부산물의 공기 중 노출 및 작업자 흡입 영향성을 고려해야 한다(Park et al. | |
SiO2 파우더 부산물에 대해서 어떠한 분석기를 사용하여 물리화학적 특성 분석 연구가 수행되었는가? | 그 외에도 공정에 따라 TiO2, Al2O3 및 WO3 등의 파우더 부산물도 생성됨을 추정할 수 있었다. 그러나 SiO2 파우더 부산물에 대해서는 에너지분산분광기 장착 주사형 및 투과형 전자현미경, X선 회절분석기 등의 다양한 분석기를 활용하여 조성, 크기, 형상, 결정구조 등에 대한 물리화학적 특성분석 연구가 수행된 반면, TiO2, Al2O3 및 WO3 등의 금속산화물 형태의 파우더 부산물에 대해서는 깊이 있는 특성분석이 수행되지 않았기 때문에 이들 부산물에 대한 연구의 필요성이 있다. 메탈 공정은 Al, W, Cu, Au 등의 금속을 사용하여 금속 배선(Metal Line)을 만드는 공정으로, 칩 외부에서 흘러들어오는 전기적 신호를 칩 내부의 각 소자로 전달시켜 주기도 하고 반대로 칩 내부의 전기적 신호를 외부로 전달해 주는 전달자 역할도 동시에 한다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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