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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.48 no.5, 2015년, pp.245 - 252
김경남 (성균관대학교 신소재공학부) , 이승민 (성균관대학교 신소재공학부) , 염근영 (성균관대학교 신소재공학부)
In recent years, the cleaning and activation technology of surfaces using atmospheric plasma as well as the deposition technology for coating using atmospheric plasma have been demonstrated conclusively and drawn increasing industrial attention. Especially, due to the simplicity, the technology usin...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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플라즈마를 이용한 화학기상 증착법의 장단점은? | 화학기상법을 이용한 박막의 증착은 오랫동안 많은 연구자들에 의해 연구되어 왔으며, 다양한 분야로의 적용을 위한 고품위 박막 증착법으로 각광받아왔다1,2). 특히 플라즈마를 이용한 화학기상 증착법은 종래의 화학기상 증착법에 비해 저온에서 성막이 가능하다는 장점이 있지만, 진공장비를 사용함으로써 유지가 어렵고 시스템 구축에 막대한 비용이 필요하다는 단점을 가지고 있다3). | |
유전체 베리어 방전의 특징은? | 1988년 Okazaki 그룹에서 상압에서의 안정한 플라즈마를 생성시킨 것을 필두로 대기압에서의 플라즈마 방전은 다양한 파워 소스, 전극을 이루는 물질과 전극 디자인을 개선시킴으로써 많은 발전을 이루어왔다4-7). 그중 유전체 베리어 방전 (DBD,Dielectric Barrier Discharge)은 상대적으로 균일한플라즈마 방전과 대면적으로의 확장성이 용이하기때문에 가장 많이 연구되고 있는 대기압 플라즈마의 방전형태이다8-10). 이는, 지금까지 많은 분야에서 연구 되어져 왔지만, 특히 코팅, 접착 및 프린팅등의 공정에 앞서 표면을 활성화시키는 목적으로 사용되어져 왔고, 폴리머 표면을 처리해줌으로써 습윤성(wettability)과 접착성 (adhesion)을 조절해주기 위해 방안으로 많이 사용되어지고 연구되어져 왔다11-13). | |
대기압플라즈마 시스템의 구조는 어떻게 되는가? | 그림 1은 유전체 베리어 방전을 이용한 대기압플라즈마 시스템의 개략도 이다 14). 증착 공정을 위해 유전층으로 코팅이 된 두 개의 평행한 전극사이에 저주파 플라즈마가 발생되는 구조를 가지고 있으며, 방전을 위한 가스와 전구체는 전극의 한쪽면에 위치한 가스노즐을 통해 공급이 되는 구조이다. 그림에서 보는 바와 같은 유전체 베리어 방전의 시스템인 경우 장비의 구조가 간단하고 제작비용이 진공장비에 비해 적게 든다는 장점이 있다7, 15-16). |
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