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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.26 no.11, 2016년, pp.635 - 643
엄성운 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) , 강석희 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) , 홍석원 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)
Graphene has shown exceptional properties for high performance devices due to its high carrier mobility. Of particular interest is the potential use of graphene nanoribbons as field-effect transistors. Herein, we introduce a facile approach to the fabrication of graphene nanoribbon (GNR) arrays with...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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나노임프린트 공정은 어떤 기술인가? | 특히 2003년 ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)에서 선폭 32 nm 이하의 패턴을 구현할 수 있는 신기술로서 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography, NIL)가 소개 되었다.1) 나노임프린트 공정은 1995년 미국 프린스턴대학 Chou 박사의 연구에서 최초로 소개되었으며 최대 10 nm 이하의 극 미세 선폭의 패턴을 구현할 수 있는 기술이다.2-4) 일반적인 나노임프린트는 기판상에 도포된 레지스트(resist) 고분자 박막에 나노구조를 갖는 몰드(mold)를 올려준 후 일정한 압력을 가해 몰드의 패턴을 레지스트에 복제, 잔류층 (residual layer) 제거를 위한 방향성 식각 등의 후속 공정을 포함한 나노 패턴을 형성할 수 있는 미세 패터닝 기법이다. | |
그래핀의 전기 전도도는 구리와 실리콘과 비교하면 어떠한가? | 0 TPa의 영 계수와18) 더불어 물리적, 화학적 안정성을 가지며 원자 한층 수준의 두께로 인해 가시광 흡수량이 매우 적어 가시광 영역의 광 투과율이 약 98 %라는 뛰어난 특성을 띄고 있다. 19) 특히, 그래핀의 높은 전자이동 도에 의한 뛰어난 전기 전도도는 대표적인 전극 물질인 구리의 100배에 달하며, 기존 반도체 공정에서 쓰이는 단결정 실리콘보다 100배 이상 전자를 빠르게 이동시킬 수있다는 점에서 그래핀은 기존 실리콘 기반 반도체 소자 에서 실리콘을 대체할 활성 물질 또는 기존 금속 전극을 대체할 전극 물질로 응용이 가능하며, 더 나아가 유연 투명 전자 소자(flexible, transparent electronic device) 분야의 활용으로 그 놀라운 가능성을 보여준바 있다. 위에서 열거한 뛰어난 장점에도 불구하고 그래핀은 밴드갭(band gap)이 없는 독특한 밴드구조에 의해 반도체 소자로 직접 적용이 용이하지 않았지만, 2007년 전자빔 리소그래피(electron-beam lithography)를 이용한 나노 패터 닝을 통해 그래핀의 선폭을 줄여 그래핀 나노 리본 구조가 되었을 때 밴드갭이 형성 및 제어되는 현상이 관측되었고,20) 이후 수많은 연구 그룹에서 다양한 나노패터닝 공정을 통한 그래핀 밴드갭 제어(band gap engineering) 에 관한 연구가 시행되고 있다. | |
미세 패터닝 기법의 장점은 무엇인가? | 2-4) 일반적인 나노임프린트는 기판상에 도포된 레지스트(resist) 고분자 박막에 나노구조를 갖는 몰드(mold)를 올려준 후 일정한 압력을 가해 몰드의 패턴을 레지스트에 복제, 잔류층 (residual layer) 제거를 위한 방향성 식각 등의 후속 공정을 포함한 나노 패턴을 형성할 수 있는 미세 패터닝 기법이다. 이는 기존의 광 기반 포토리소그래피와 달리 용액 공정 기반의 단순한 공정이며, 공정을 위한 구성 장비 역시 기존의 공정 장비보다 훨씬 저렴하다는 장점이 있다. 이러한 나노임프린트 리소그래피는 현재 차세대 리소그래피 공정으로 각광받고 있으며, 전 세계의 다양한 연구 그룹에서 선행 연구가 진행되고 매우 다채로운 결과들이 현재 보고되고 있다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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