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OLED공정에서 사용되는 섀도마스크의 습식 세정 후 세정표면 및 세정용액 분석에 관한 연구
Analysis of Post Cleaning Solution After Wet Cleaning of Shadow Mask Used in OLED Process 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.23 no.4, 2016년, pp.7 - 10  

최은화 (중앙대학교 융합공학과 나노공학) ,  표성규 (중앙대학교 융합공학과 나노공학)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The post cleaning method for clean the shadow mask using in OLED (organic light emitting diode) emitter layer is always reforming. The cleaning solution and analysis method of shadow mask is still lack and not optimized. We use the simple and useful analytical method to determine the quantity and qu...

주제어

#shadow mask   #OLED   #organic and inorganic residue   #cleaning solution   #Raman spectroscopy  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서 피세정 물질로 OLED 증착 물질 중 대표적인 유기물 Alq3와 금속무기물로는 Al으로 선정하였고, 세정제로는 NMP(N-methyl-2-pyrrolidone), TFD4을 선정하여 NMP와 TFD4의 세정능력을 SEM, 형광현미경, 라만분광기를 통하여 분석 평가하고자 하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
OLED의 장점은? 자체발광소자인 OLED(Organic Light Emitting Diode)는 빠른 응답 속도, 저 전력 소모, 넓은 시야각 등 장점으로 인하여 많은 관심을 얻고 있으며, 수요가 급격하게 증가하고 있다.1)
대면적 OLED를 제조를 위한 OLED 재료를 분사하여 증착하는 방식에는 무엇이 있는가? 대면적 OLED를 제조를 위한 OLED 재료를 분사하여 증착하는 방식은 상향, 하향, 수직 세가지 방식 있다. 이세가지 방식은 모두 섀도마스크를 이용한 OLED 패턴이 이미 양산에 적용되고 있다.
FMM(fine metal mask)방식의 장점은? 2) 새도우마스크를 이용한 패턴 방식이란 FMM(fine metal mask)방식3)이라고 부르는데 이는 박막형태의 금속 마스크를 기판에 밀착시킨 후원하는 위치에만 OLED 재료4)를 증착하여 화소를 형성 시키는 방법이다. 이 방식은 유기박막 적층에 용이하고 소자는 특성이 우수하다는 장점을 갖고 있다.5) RGB(red, green, blue)를 구성하기 위해서는 여러 번의 유기물 증착 과정을 거치는데 대면적화를 위해서는 큰 섀도마스크를 사용하게 된다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (11)

  1. A. P. Ghosh, A. G. Sculley, I. Wacyk, H. Kwon, J. Ho and A. Rosen, "Large area oled microdisplay and method of manufacturing same", Google Patents, (2016). 

  2. C. Sekine, Y. Tsubata, T. Yamada, M. Kitano and S. Doi, "Recent progress of high performance polymer OLED and OPV materials for organic printed electronics", Sci. Technol. Adv. Mater., 15, 034203 (2016). 

  3. S. T. Lee, B. D. Chin, M. H. Kim, T. M. Kang, M. W. Song, J. H. Lee, H. D. Kim, H. K. Chung, M. B. Wolk and E. Bellmann, "29.3: A Novel Patterning Method for Full-Color Organic Light-Emitting Devices: Laser Induced Thermal Imaging (LITI)", SID Symposium Digest of Technical Papers, 35(1), 1008 (2014). 

  4. J.-G. Jang and H.-W. Kim, "Fabrication and Characterization of Yellow OLED using GDI602: Rubrene (10%) Material", J. Microelectron. Packag. Soc., 13(4), 71 (2006). 

  5. K.-J. Choi, J.-Y. Lee, D.-K. Shin and J. Park, "Investigation on slot-die coating of hybrid material structure for OLED lightings", J. Phys. Chem. Solids, 95, 119 (2016). 

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  6. P.-Y. Shen, S.-H. Wu, Y.-T. Huang and Y. Wei, "White electroluminescence generated by a blend of bis (di-p-tolylamino) dihydroindenoindene and DCJTB", Res. Chem. Intermed., 40(6), 2199 (2014). 

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  7. T. Miyamae, N. Takada, T. Yoshioka, S. Miyaguchi, H. Ohata, H. Okumoto, M. Yahiro, Y. Tsutsui, C. Adachi and T. Tsutsui, "52.2 Non-Destructive Analyses of Operational Degradation of OLED Devices", SID Symposium Digest of Technical Papers, 46, 782 (2015). 

  8. L. Wang, K.-Q. Ye and H.-Y. Zhang, "Organic materials with hydrostatic pressure induced mechanochromic properties", Chin. Chem. Lett., 27(8), 1367 (2016). 

    상세보기 crossref

  9. C.-D. Lin, A. Chittawanij, L.-A. Hong, C.-C. Wang, S.-H. Lai, Y.-S. Tsai and F.-S. Juang, "The study of transparent organic light-emitting diodes with two side emitting", Proceedings of the 14th IFToMM World Congress, 78 (2015). 

  10. W. Seo, J.-H. Park, J.-Y. Lee, M.-K. Cho and G.-S. Kim, "Via Cleaning Process for Laser TSV process", J. Microelectron. Packag. Soc, 16(1), 45 (2009). 

  11. C. Conti, A. Botteon, C. Colombo, M. Realini and P. Matousek, "Fluorescence suppression using micro-scale spatially offset Raman spectroscopy", Analyst, 141(18), 5374 (2016). 

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