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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.15 no.4, 2016년, pp.46 - 50
박수진 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부) , 이규만 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부)
In this study, we have investigated the effect of the substrate temperature and hydrogen flow rate on the characteristics of IGZO thin films for the TCO(transparent conducting oxide). For this purpose, IGZO thin films were deposited by RF magnetron sputtering at room temperature and
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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평판 디스 플레이의 종류는 어떤 것들이 있는가? | 현재의 디스플레이 산업은 LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display panel), FED (Field Emission Display), OLED (Organic Light Emitting Diode) 등의 각종 평판 디스 플레이 (FPD, Flat Panel Display)의 개발에 많은 투자와 연구가 집중되고 있으며, 최근에는 Flexible Display의 개발에 까지 그 영역을 넓히고 있다. 이에 따라 각종 디스플레이 소자의 공통 기반기술인 고품위 투명 전도성 산화물 (TCO : Transparent Conducting Oxide) 박막 재료의 개발 및 제조 기술들에 대한 연구가 급속히 증가하고 있다[1-4]. | |
ITO 박막의 문제점은 무엇인가? | 이러한 고온 공정들은 기판 사용에 제약을 불러와 Flexible display로의 활용이 힘들 뿐 아니라 ITO 박막의 결정화를 강화시켜 결정립에 의한 표면 거칠기를 증가시키고 그에 따라 소자의 안정성을 현저하게 저하시키는 요인이 된다. 또한, 원료 물질인 인듐의 독성, 스퍼터링 시 음이온 충격에 의한 막 손상에 따른 전기저항 증가, 유기발광소자의 투명전극으로 쓰일 경우에 유기물과의 계면 부적합성, 그리고 수소플라즈마에 대한 불안정성 등이 문제점으로 지적되고 있다[5,6]. | |
투명전극으로 사용하는 차세대 소재에는 어떤 것들이 연구되고 있는가? | 현재 투명전극으로 사용하는 차세대 소재로 TCO (Transparent conducting oxide), 은나노 와이어(Silver nanowire), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 그래핀(graphene), 전도성 고분자(conducting polymer) 등이 연구 되고 있으며 현재 가장 보편적으로 사용되는 투명 전극은 인듐 주석 산화물, 즉 ITO(indium tin oxide)이다. ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 n-type의 전도특성을 갖는 산화물 반도체로서 넓은 밴드 갭과 함께 가시광 영역에서의 높은 투과율과 전기전도성을 나타낸다[5,6]. |
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