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반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.16 no.4, 2017년, pp.1 - 4
이사야 (단국대학교 전자전기공학부) , 송윤석 ((주)엔씨디) , 김현 ((주)엔씨디) , 류상욱 (단국대학교 전자전기공학부)
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Encapsulation of organic based devices is essential issue due to easy deterioration of organic material by water vapor. Atomic layer deposition (ALD) is a promising solution because of its low temperature deposition and quality of the deposited film. Moisture permeation has a mechanism to pass throu...
| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 원자층 증착(ALD) 기술이란? | 원자층 증착(ALD) 기술은 막 형성에 필요한 원소를 불활성 가스로 분리하여 순차적으로 반응시켜 자체 제한적인 표면 반응을 통해 두께와 균질성을 정밀하게 제어할 수 있는 기술이다. 따라서 ALD를 이용한 무기막의 경우 기존 PECVD에서 보여주는 10-2~10-3g/m2/day보다 훨씬 우수한 10-4~10-5g/m2/day 의 투습 특성을 확보할 수 있고 낮은 온도에서의 공정이 가능하기에 디바이스 상단이나 하단에서 침투하는 환경적 공격에 대항하는 봉지 기술로써 적합하다[7,8]. | |
| OLED에서 봉지 기술 실현이 필요한 이유는? | OLED의 수분 침투로 일어나는 대표적인 증상은 암점과 Pixel Shrinkage 현상이다. 대부분의 소형 분자 및 공액 고분자와 OLED 활성층에 전기적 접촉을 형성하기 위해 사용되는 낮은 일 함수 재료는 열화 되었을 때 전하 주입 및 회수를 감소시키므로, 디바이스의 성능을 저하시키고 수명을 현저히 감소시킨다[1-3]. 따라서, 산소 및 수분에 대한 유기 디바이스의 외부 환경 노출을 방지하거나 제한하는 봉지 기술 실현이 필수적이다. | |
| OLED의 수분 침투로 일어나는 증상은 무엇이 있는가? | 그중, OLED는 산소 및 수분 침투에 대해 민감하고 외부 환경에 노출되었을 때, 기능의 심각한 손상이 일어난다. OLED의 수분 침투로 일어나는 대표적인 증상은 암점과 Pixel Shrinkage 현상이다. 대부분의 소형 분자 및 공액 고분자와 OLED 활성층에 전기적 접촉을 형성하기 위해 사용되는 낮은 일 함수 재료는 열화 되었을 때 전하 주입 및 회수를 감소시키므로, 디바이스의 성능을 저하시키고 수명을 현저히 감소시킨다[1-3]. |
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