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OLED의 Thin Film Encapsulation을 위한 MgO 박막의 원자층 증착 장치 및 공정에 관한 연구
Study on the Atomic Layer Deposition System and Process of the MgO Thin Layer for the Thin Film Encapsulation of OLED
원문보기
반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.20 no.3, 2021년, pp.22 - 26
조의식 (가천대학교 전자공학과) , 권상직 (가천대학교 전자공학과)
Abstract
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Thin-film encapsulation (TFE) technology is most effective in preventing water vapor and oxygen permeation in the organic light emitting diodes (OLED). Of those, a laminated structure of Al2O3 and MgO were applied to provide efficient barrier performance for increasing the stability of devices in ai...
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참고문헌 (11)
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