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NTIS 바로가기기계저널 : 大韓機械學會誌, v.57 no.1, 2017년, pp.32 - 36
김인기 (포항공과대학교 기계공학과) , 노준석 (포항공과대학교 기계공학과)
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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전자빔 리소그래피는 어떤 방식으로 패터닝을 진행하는가? | 전자빔 리소그래피는 고에너지 전자빔을 집속하여 원하는 기판 위에 디자인 된 미세한 나노구조 패턴을 직접 그리는 방식으로 패터닝을 진행하게 된다. 전자 빔 리소그래피의 최소 분해능은 빔의 가속 전압과 전 류 등에 의해 결정되게 되는데, 100kV의 가속 전압을 가지는 전자빔 리소그래피의 경우 10nm 크기의 선 폭을 정교하게 그릴 수 있게 된다. | |
메타물질이란? | 메타물질이란 인공적으로 제작된 원자들로 이루어진 물질로 자연계에서 나타나지 않는 특이한 광학적 특징을 나타내는 물질을 의미한다. 메타물질은 우리가 통상 알고 있는 자연계에 존재하고 있는 물질과 동 일하게 원자(메타원자)들로 구성되고, 이러한 원자는 메타물질이 작동하는 파장보다 매우 작은 크기로 되 어 있다. | |
메타표면의 구조적인 문제로 발생하는 문제점은? | 메타표면에 대한 많은 연구들이 보고되고 있긴 하지만 메타표면의 구조적인 문제 때문에 발생하는 여러 문제점 또한 함께 존재하고 있다. 예를 들면, 편 광 상태나 빛의 입사각도 등에 따라 광학적 특성이 바뀌기도 하고 메타원자의 공명현상을 이용하기 때문 에 좁은 대역폭을 갖는 단점이 있다. |
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