[논문]단결정 실리콘의 미세 구멍 절삭 조건 최적화

이은영; 최왕기; 유중학

doi:10.7736/kspe.2017.34.8.551

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[국내논문] 단결정 실리콘의 미세 구멍 절삭 조건 최적화
Cutting Condition Optimization of Micro Hole for Single Crystal Silicon

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.34 no.8, 2017년, pp.551 - 555

이은영 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) , 최왕기 (한국기술교육대학교 신소재공학부) , 유중학 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

Micro hole drilling in precision production industries requires smaller holes, higher aspect ratios, and higher working speeds. However, the undesirable characteristics of micro drilling are small signal to noise ratios, wandering drill motion, high aspect ratio, and increasing cutting quality as cutting depth increases. In this study, two different types of experiments are performed on single crystal silicon to decrease crack formation. The first experiment compares the efficiency of various micro hole machining processes using ultrasonic impact grinding and micro drilling. The second experiment suggests optimum conditions for the micro drilling process. The experimental results show that micro drilling technology can be effectively used for drilling single crystal silicon.

Keyword

참고문헌 (7)

Samsung Semiconductor Story, “Etching for Implementation of Pattern Circuits,” http://samsungsemiconstory.tistory.com (Accessed 15 FEB 2017)
Geometric Tolerance, “Positional Tolerance,” http://oats.co.kr (Accessed 15 FEB 2017)
Out of Roundness, “Measurement of Roundness,” http://kosaka.co.kr (Accessed 15 FEB 2017)
Kim, G. H., Do, C. J., Hong, K. H., Rui, B. J., Won, J. H., et al., “Nano-Turning of Single Crystal Silicon,” Proc. of KSPE Autumn Conference, pp. 939-942, 2000.
Chae, S. S., Lee, S. M., Park, H. K., Cho, J. H., Lee, J. C., et al., “A Study on the Characteristics of Silicon Micro-Hole Machining,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 12, No. 2, pp. 74-79, 2013.
Huh, C., Lee, C. G., Chae, S. S., Park, S. J., and Lee, J. C., “A Study on the Micro Hole Drilling of Silicon,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 4, No.1, pp. 18-23, 2005.
Lee, B. J., “A Study on the Ultrasonic Machining of Small Diameter Hole,” M.Sc. Thesis, Korea Polytechnic University, 2008.

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