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NTIS 바로가기융합정보논문지 = Journal of Convergence for Information Technology, v.9 no.3, 2019년, pp.75 - 81
김경보 (인하공업전문대학 금속재료과) , 이종필 (중원대학교 전기전자공학전공) , 김무진 (중원대학교 전기전자공학전공) , 민영실 (중원대학교 제약공학과)
In this work, we investigated a low temperature polycrystalline silicon (LTPS) thin film transistors fabrication process on polymer layers. Dehydrogenation and activation processes were performed by a furnace annealing at a temperature of
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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플라스틱 기판의 특징은 무엇인가? | 다음 세대의 디스플레이는 모든 외부 회로를 기판상에 제조하는 것이다. 또한, 플라스틱 기판은 글라스로 사용되는 기판과 비교했을 때 더 가볍고, 휘어짐이 가능하고 값이 싸기 때문에 Fig. 2와 같이 이와 같은 기술에 대해 많은 연구가 진행되고 있다[5-8]. | |
레이저로 결정화된 폴리실리콘 분석에 이용한 기법은? | 본 연구에서는 레이저 결정화 전 비정질 실리콘을 탈수소하기 위해 430도 온도에서 2시간 열처리를 진행하였으며, 또한, 폴리실리콘 내에 주입된 도펀트들을 활성화시키기 위해서 같은 조건으로 열처리했다. 레이저로 결정화된 폴리실리콘은 scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy (AFM) 기법들을 이용하여 표면 형상, 입자 크기 및 결정 구조에 대해 분석을 진행하였다. 또한, 이 반도체 막을 기반으로 제조된 박막트랜지스터의 특성 및 플렉서블 AMOLED 디스플레이에 대한 연구를 진행하였다. | |
자외선 파장을 가진 엑시머 레이저를 사용하여 비정질 실리콘에 조사하였을 때 장점은 무엇인가? | 비정질 실리콘을 다결정 실리콘으로 바꾸는 결정화 기술 중 현재 가장 각광받고 양산에 적용되고 있는 것은 자외선 파장을 가진 엑시머 레이저를 비정질 실리콘에 조사하는 기술이다[1,2]. 또한, 이 방법은 국소영역을 녹여서 나노시간 내에 응고가 일어나기 때문에 하부 기판에의 영향이 적어, 유기물로 이루어진 플렉서블 기판상에 형성된 비정질 실리콘의 결정화에 대한 가능성을 제시한다. A. |
G. H. Jin, J. H. Cho, W. P. Lee, Y. G. Mo, H. D. Kim, S. S. Kim, M. J. Kim & J. H. Song (2011). Simple Fabrication of a Three-Dimensional CMOS Inverter Using p-Type Poly-Si and n-Type Amorphous Ga-In-Zn-O Thin-Film Transistors. IEEE Electron Device Letters, 32(9), 1236-1238. DOI : 10.1109/LED.2011.2161258
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