[논문]금속 나노와이어 기반 전극 기술 개발 동향

신유빈; 주윤희; 김종웅

doi:10.6117/kmeps.2019.26.4.015

금속 나노와이어 기반 전극 기술 개발 동향
Technical Trends of Metal Nanowire-Based Electrode 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.26 no.4, 2019년, pp.15 - 22

신유빈 (전북대학교 신소재공학부) , 주윤희 (전북대학교 신소재공학부) , 김종웅 (전북대학교 신소재공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

Metallic nanowires (MNWs) have recently been considered as one of the most promising candidates for flexible electrodes of advanced electronics including wearable devices, electronic skins, and soft robotics, since they have high aspect ratio in physical shape, low percolation threshold, high ductility and optical transparency. Herein, we review the latest findings related to the MNWs and discuss the properties and potentials of this material that can be used in implementation of various advanced electronic devices.

주제어

표/그림 (8)

그림 Fig. 2. Typical high-resolution SEM images of purified products obtained from different concentrations of NaBr: (A) 0, (B) 1.1, (C) 2.2, and (D) 4.4 mM.
그림 Fig. 1. (a) Conventional polyol synthesis of Ag NWs. (b) SEM image of the Ag NWs.⁹⁾
그림 Fig. 3. (a) Reaction scheme of EDA-mediated synthesis. (b) Reaction scheme of alkylamine-mediated synthesis. (c) SEM image of CuNWs.¹²⁾
그림 Fig. 4. Gold nanowires produced by a three-step seeding method in acidic growth solution.
그림 Fig. 5. (a) Illustration of the dual-scale AgNW network transparent conductor fabrication process and its application for flexible OLED demonstration. (b) Spectral transmittance of dual-scale AgNWs (blue), long/thick AgNWs (red) and short/thin AgNWs (green). (c) Digital image of a transparent conductor using dual-scale AgNWs.¹⁹⁾
그림 Fig. 6. (a,b) Mechanical and chemical properties of the RCC electrode. (a) Long-term stability under an ambient environment for the intact CuNW electrode and the RCC electrode. (b) A cyclic bending test results at 15 mm bending radius. (c) Structure of the fabricated flexible transparent capacitive touch pad by using a pair of the flexible transparent RCC electrodes. (d,e) Performance tests of the RCC-electrode-based capacitive touch sensor. (d) “ON” and “OFF” touch signal. (e) A successive touch and corresponding signal output.²¹⁾
그림 Fig. 7. (a) SEM image and backscattered electron (BSE) image (inset) of Ag–Au nanowires (before surface modification; Au sheath is in yellow). Scale bars, 5 μm and 200 nm (inset). (b) Schematic illustration of the microstructured Ag–Au nanocomposite. (c,d) Optical camera image of a cardiac mesh (c) and implanted cardiac mesh on a swine heart (d) RV, right ventricle; LV, left ventricle; LAD, left anterior descending coronary artery. Scale bar, 5 cm in (c), 5 mm in (d).²⁵⁾
그림 Fig. 8. Monitoring in real-time of the AuNWs/latex strain sensor for human motion detection.

AI 본문요약
AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

이처럼 금속 나노와이어를 원하는 형상으로 균일하게 제조하기 위해서는 합성 온도, 환원제의 종류, 환원제와 금속 이온의 함량비 등과 같은 조건을 최적화하는 것이 중요하다. 다음장에서는 이렇게 합성된 금속 나노와이어를 다양한 소자의 전극으로 적용한 사례들 중 주목할 만한 것들을 리뷰하고자 한다.
이러한 금속 나노와이어를 다양한 응용분야에 적용하기 위해서는 금속 나노와이어의 특성과 개선 방법을 이해하는 것이 중요하기 때문에, 먼저 금속 나노 와이어의 특성 및 합성법을 소개하고 특성을 개선시키기 위해 진행된 연구들을 살펴보았다. 더 나아가 금속 나노 와이어의 특성을 개선시켜 여러 소자에 적용한 논문을 리뷰했으며, 특히 플렉서블 및 웨어러블 디바이스로의 적용 가능성을 검토하였다. 금속 나노와이어 기반의 전극 기술개발은 웨어러블 소자, 전자피부 등의 미래 기술분야의 발전을 더 빠르게 진전시킬 수 있을 것으로 전망된다.
본 고에서는 차세대 전자 소자용 전극 소재로 주목받고 있는 소재 중 금속 나노와이어의 연구·개발 동향에 대하여 리뷰하였다.
금속 나노와이어는 특유의 고전도 특성을 가질 뿐 아니라 높은 종횡비로 매우 낮은 농도에서 Percolation이 일어나 고투과 특성까지 나타낼 수 있어 플렉서블 및 웨어러블 디바이스의 유망한 전극 소재로 손꼽히고 있다. 이러한 금속 나노와이어를 다양한 응용분야에 적용하기 위해서는 금속 나노와이어의 특성과 개선 방법을 이해하는 것이 중요하기 때문에, 먼저 금속 나노 와이어의 특성 및 합성법을 소개하고 특성을 개선시키기 위해 진행된 연구들을 살펴보았다. 더 나아가 금속 나노 와이어의 특성을 개선시켜 여러 소자에 적용한 논문을 리뷰했으며, 특히 플렉서블 및 웨어러블 디바이스로의 적용 가능성을 검토하였다.
이에 반해, 금속 기반 소재인 금속나노와이어는 고전도 특성을 가질 뿐 아니라 특유의 종횡비로 매우 낮은 농도에서 Percolation이 일어나 고투과 특성까지 나타낼 수 있어 플렉서블 및 웨어러블 디바이스의 유망한 전극 소재로 손꼽히고 있다. 이에 본 고에서는 금속 나노와이어를 다양한 소자에 적용한 사례를 소개하고 이를 통해 최근 연구개발 동향을 파악하고자 한다.
대표적인 금속 나노와이어로는 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au) 나노와이어를 들 수 있으며, 이는 인듐 주석 산화물(Indium tin oxide: ITO)를 대체하기 위한 투명 전극 및 웨어러블 소자의 신축성 전극 소재로 연구가 활발히 진행되고 있다. 이에 본 고에서는 먼저 금속 나노와이어 별로 통용되고 있는 합성법을 소개하고, 이를 발전시켜 특성을 높인 사례를 살펴보고자 한다.

제안 방법

19) 해당 논문에서는 기존의 Polyol process를 일부 변형시켜 길이 100 µm, 직경 100 nm의 길고 두꺼운 은 나노와이어와 길이 10 µm, 직경 40 nm의 짧고 얇은 은 나노와이어를 각각 제조한 후, 유리 기판에 차례로 코팅해 Dual-scale의 Percolation 네트워크를 형성하였다(Fig. 5).
26) 해당 센서는 Glass와 Polyimide mask 사이에 Latex sheet를 위치시키고 금 나노와이어 용액을 Drop casting한 후 Glass 및 Polyimide를 제거하는 간단한 방식으로 제작 되었다. 본 논문의 저자들은 제작한 센서를 팔, 입 주변, 목 등에 부착하고 움직임을 정확하게 감지한다는 것을 저항변화로 보여주었다(Fig.
²⁶⁾ 해당 센서는 Glass와 Polyimide mask 사이에 Latex sheet를 위치시키고 금 나노와이어 용액을 Drop casting한 후 Glass 및 Polyimide를 제거하는 간단한 방식으로 제작 되었다. 본 논문의 저자들은 제작한 센서를 팔, 입 주변, 목 등에 부착하고 움직임을 정확하게 감지한다는 것을 저항변화로 보여주었다(Fig. 8). 이 때, 저항 변화가 눈에 띄게 나타날 수 있었던 이유는 외부 응력이 가해지면서 발생하는 Crack 구조를 이용했기 때문인데 Stretch-andRelease시에 맞닿았던 Crack이 멀어졌다 다시 접촉하는 현상을 이용한 것이다.
²¹⁾ 해당 논문의 저자들은 PET 기판 위에 구리 나노와이어 전극을 형성하고, 그 위에 PUA를 스핀코팅한 후 UV를 조사하여 경화시켰다. 이렇게 형성된 RCC(Resin covered CuNW) 전극의 산화 안정성을 평가하기 위해, RCC 전극과 구리 나노와이어 전극을 대기 중에 각각 노출시킨 후 저항 변화를 측정하였으며, 그 결과를 Fig. 6(a)에 나타내었다. 구리 나노와이어 전극의 저항은 시간이 지남에 따라 눈에 띄게 증가한 반면, RCC 전극의 저항은 초기에만 약간 증가하다가 최대 10일까지 안정하게 유지됨을 확인할 수 있었다.
구리 나노와이어 전극의 저항은 시간이 지남에 따라 눈에 띄게 증가한 반면, RCC 전극의 저항은 초기에만 약간 증가하다가 최대 10일까지 안정하게 유지됨을 확인할 수 있었다. 제작한 RCC 전극의 기계적 안정성을 입증하기 위해 15 mm의 곡률반경으로 1,500 cycle의 굽힘 시험 또한 진행하였는데, Strain을 더 크게 받는 Tensile 굽힘 시험에도 저항이 3.5% 이내로 증가하였다. 해당 논문의 저자들은 RCC 전극을 적층해 터치 패드 센서를 제작하는 데 적용하였고, Fig.
5% 이내로 증가하였다. 해당 논문의 저자들은 RCC 전극을 적층해 터치 패드 센서를 제작하는 데 적용하였고, Fig. 6(d,e)에도시된 바와 같이 터치의 On, Off 상태를 전류 변화로 보여주었다. 해당 논문은 PUA를 Overcoating하는 아주 간단한 공정을 통해 구리 나노와이어의 산화 문제를 해결했을 뿐 아니라 이를 이용해 고감도의 터치 패드 센서를 구현했다는 점에서 의미가 있다고 판단된다.

성능/효과

6(a)에 나타내었다. 구리 나노와이어 전극의 저항은 시간이 지남에 따라 눈에 띄게 증가한 반면, RCC 전극의 저항은 초기에만 약간 증가하다가 최대 10일까지 안정하게 유지됨을 확인할 수 있었다. 제작한 RCC 전극의 기계적 안정성을 입증하기 위해 15 mm의 곡률반경으로 1,500 cycle의 굽힘 시험 또한 진행하였는데, Strain을 더 크게 받는 Tensile 굽힘 시험에도 저항이 3.
이 때, NaCl과 NaBr은 AgNO₃과 반응하여 AgCl, AgBr 입자를 형성하고 이종핵생성(Heterogeneous nucleation) 및 1차원 성장(Onedimensional growth)을 통해 은 나노와이어를 성장시켰다. 특히 NaBr 첨가량을 조절해 은 나노와이어의 직경을 줄일 수 있도록 하였으며, 결과적으로 20 nm의 직경 및 2,000 이상의 종횡비를 가지는 은 나노와이어를 합성하 였다(Fig. 2).
6(d,e)에도시된 바와 같이 터치의 On, Off 상태를 전류 변화로 보여주었다. 해당 논문은 PUA를 Overcoating하는 아주 간단한 공정을 통해 구리 나노와이어의 산화 문제를 해결했을 뿐 아니라 이를 이용해 고감도의 터치 패드 센서를 구현했다는 점에서 의미가 있다고 판단된다.
이 때, 저항 변화가 눈에 띄게 나타날 수 있었던 이유는 외부 응력이 가해지면서 발생하는 Crack 구조를 이용했기 때문인데 Stretch-andRelease시에 맞닿았던 Crack이 멀어졌다 다시 접촉하는 현상을 이용한 것이다. 해당 논문은 복잡한 공정이나 장비 없이 기존에 보고된 Strain 센서들보다 높은 Gauge factor 및 빠른 응답 속도를 나타냈다는 점에서 의의가 있다고 판단된다.^27,28)
저자들은 하버드 의과대학과 공동 협업을 통해 동물 실험도 진행하였는데, 나노 복합체를 넓은 그물 형태로 가공해 심부전 증상이 있는 돼지의 심장에 부착하고 전류를 흘려 심장 리듬을 되살렸다고 보고했다. 해당 논문은 웨어러블 디바이스 소재로 주목받고 있는 두재료를 새로운 구조로 개발하여 각 재료들의 단점을 보완했을 뿐 아니라, 인체에 무해한 바이오 소자를 성공적으로 제작했다는 점에서 큰 의의를 갖는다.
논문의 저자들은 제작된 투명 전극의 기계적 안정성을 평가하기 위한 실험 또한 진행하였는데, 14,000 cycle 동안 반복되는 굽힘시험에도 저항의 변화가 거의 없었다. 해당 논문은 은 나노와이어 네트워크의 전기적 특성을 향상시키기 위해 기존의 방식에서 벗어나 새로운 접근법을 이용하여 문제점을 해결했을 뿐 아니라 우수한 특성의 투명 전극을 제작해 OLED의 anode 전극으로 적용했다는 점에서 의미가 있다고 판단된다.

후속연구

더 나아가 금속 나노 와이어의 특성을 개선시켜 여러 소자에 적용한 논문을 리뷰했으며, 특히 플렉서블 및 웨어러블 디바이스로의 적용 가능성을 검토하였다. 금속 나노와이어 기반의 전극 기술개발은 웨어러블 소자, 전자피부 등의 미래 기술분야의 발전을 더 빠르게 진전시킬 수 있을 것으로 전망된다.

질의응답

핵심어	질문	논문에서 추출한 답변
	금속나노와이어의 장점은?	4-8) 하지만, 탄소 기반의 나노소재는 우수한 물리적 특성에도 불구하고 상대적으로 작은 부피로 활용되어 그 특성을 발현하는 데 제한이 있고, 전도성 고분자의 경우에는 가공성이 우수하다는 장점이 있으나 투과율 대비 낮은 전기 전도도 및 낮은 안정성을 가진다는 단점이 있다. 이에 반해, 금속 기반 소재인 금속나노와이어는 고전도 특성을 가질 뿐 아니라 특유의 종횡비로 매우 낮은 농도에서 Percolation이 일어나 고투과 특성까지 나타낼 수 있어 플렉서블 및 웨어러블 디바 이스의 유망한 전극 소재로 손꼽히고 있다. 이에 본 고에 서는 금속 나노와이어를 다양한 소자에 적용한 사례를 소개하고 이를 통해 최근 연구개발 동향을 파악하고자 한다.
	금속 나노와이어란?	금속 나노와이어는 직경이 100 nm 이하이고 종횡비가 100 이상인 나노구조체로, 와이어간의 접촉을 통해 전도성을 나타내는 Percolation 기반의 전도성 물질이다. 만약 구형의 금속 입자를 이용해 전도성 박막을 형성할 경우, 입자간의 접촉이 넓은 범위에 걸쳐 균일하게 형성되어야 하기 때문에 10 wt% 이상의 높은 농도로 적층 하는 과정이 필요하다.
	금속 나노와이어의 전극 유연성 확보를 위한 방법은?	17,18) 최근 이 문제를 해결하기 위해 길이와 직경이 다른 두 가지 스케일의 은나노와이어를 제조하여 투과율 90%, 면저항 50 Ω/sq 이하의 투명 전극을 제작하고 OLED의 anode 전극으로 적용한 연구결과가 보고된 바 있다. 19) 해당 논문에서는 기존의 Polyol process를 일부 변형시켜 길이 100 µm, 직경 100 nm의 길고 두꺼운 은 나노와이어와 길이 10 µm, 직경 40 nm의 짧고 얇은 은 나노와이어를 각각 제조한 후, 유리 기판에 차례로 코팅해 Dual-scale의 Percolation 네트워크를 형성하였다(Fig. 5).

참고문헌 (28)

K. P. Bera, G. Haider, M. Usman, P. K. Roy, H. I. Lin, Y. M. Liao, C. R. P. Inbaraj, Y. R. Liou, M. Kataria, K. L. Lu, and Y. F. Chen, "Trapped Photons Induced Ultrahigh External Quantum Efficiency and Photoresponsivity in Hybrid Graphene/Metal-Organic Framework Broadband Wearable Photodetectors", Adv. Funct. Mater., 28, 1804802 (2018).

상세보기
S. B. Choi, C. R. Lee, S. B. Jung, and J. W. Kim, "Technical Trends of Stretchable Electrodes", J. Microelectron. Packag. Soc., 26(3), 23 (2019).
C. F. Guo, and Z. Ren, "Flexible transparent conductors based on metal nanowire networks", Mater. Today., 18(3), 143 (2015).

상세보기
S. Gupta, C. N. Murthy, and C. Ratna Prabha, "Recent advances in carbon nanotube based electrochemical biosensors", Int. J. Biol. Macromol., 108, 687 (2018).

상세보기
T. Xie, L. Zhang, Y. Wang, Y. Wang, and X. Wang, "Graphenebased supercapacitors as flexible wearable sensor for monitoring pulse-beat", Ceram. Int., 45(2), 2516 (2019).

상세보기
J. H. Cho, S. H. Ha, and J. M. Kim, "Transparent and stretchable strain sensors based on metal nanowire microgrids for human motion monitoring", Nanotechnology, 29(15), 155501 (2018).

상세보기
W. Yuan, J. Yand, K. Yang, and H. Peng, "High-Performance and Multifunctional Skinlike Strain Sensors Based on Graphene/ Springlike Mesh Network", ACS Appl. Mater. Interfaces., 10(23), 19906 (2018).

상세보기
J. Ramirez, D. Rodriquez, A. D. Urbina, and A. M. Cardenas, "Combining High Sensitivity and Dynamic Range: Wearable Thin-Film Composite Strain Sensors of Graphene, Ultrathin Palladium, and PEDOT:PSS", ACS Appl. Nano Mater., 2(4), 2222 (2019).

상세보기
Y. Sun, B. Gates, B. Mayers, and Y. Xia, "Crystalline Silver Nanowires by Soft Solution Processing", Nano letters, 2, 165, (2002).

상세보기
J. Lee, P. Lee, H. Lee, D. Lee, S. S. Lee, and S. H. Ko, "Very long Ag nanowire synthesis and its application in a highly transparent, conductive and flexible metal electrode touch panel", Nanoscale, 4, 6408, (2012).

상세보기
B. Li, S. Ye, I. E. Stewart, S. Alvarez, and B. J. Wiley, "Synthesis and Purification of Silver Nanowires To Make Conducting Films with a Transmittance of 99%", Nano letters, 15(10), 6722, (2015).

상세보기
Y. Chang, M. L. Lye, and H. C. Zeng, "Large-Scale Synthesis of High-Quality Ultralong Copper Nanowires", Langmuir, 21, 3746, (2005).

상세보기
S. Ye, A. R. Rathmell, Y. C. Ha, A. R. Wilson, and B. J. Wiley, "The Role of Cuprous Oxide Seeds in the One-Pot and Seeded Syntheses of Copper Nanowires", Small, 10, 1771, (2014).

상세보기
H. Guo, N. Lin, Y. Chen, Z. Wang, Q. Xie, T. Zheng, N. Gao, S. Li, J. Kang, D. Cai, and D. L. Peng, "Copper Nanowires as Fully Transparent Conductive Electrodes", Sci. Rep., 3, 2323, (2013).

상세보기
F. Kim, K. Sohn. J. Wu, and J. Huang, "Chemical Synthesis of Gold Nanowires in Acidic Solutions", J. Am. Chem. Soc., 130(44), 14442 (2008).

상세보기
D. G. Kim, Y. Kim, and J. W. Kim, "Recent Trends in Development of Ag Nanowire-based Transparent Electrodes for Flexible.Stretchable Electronics", J. Microelectron. Packag. Soc., 22(1), 7 (2015).

원문보기 상세보기
Z. Yu, Q. Zhang, L. Li, Q. Chen, X. Niu, J. Liu, and Q. Pei, "Highly Flexible Silver Nanowire Electrodes for Shape-Memory Polymer Light-Emitting Diodes", Adv. Mater., 23, 664 (2011).

상세보기
K. H. Ok, J. Kim, S. R. Park, Y. Kim, C. j. Lee, S. J. Hong, M. G. Kwak, N. Kim, C. J. Han, and J. W. Kim, "Ultra-thin and smooth transparent electrode for flexible and leakage-free organic light-emitting diodes", Sci. Rep., 5, 9464 (2015).

상세보기
J. Lee, K. An, P. Won, Y. Ka, H. Hwang, H. Moon, Y. Kwon, S. Hong, C. Kim, C. Lee, and S. H. Ko, "A dual-scale metal nanowire network transparent conductor for highly efficient and flexible organic light emitting diodes", Nanoscale, 9, 1978 (2017).

상세보기
D. K. Kwon, S. J. Lee, and J. M. Myoung, "High-performance flexible ZnO nanorod UV photodetectors with a network- structured Cu nanowire electrode", Nanoscale, 8, 16677, (2016).

상세보기
D. Kim, J. Kwon, J. Jung, K. Kim, H. Lee, J. Yeo, S. Hong, S. Han, and S. H. Ko, "A Transparent and Flexible Capacitive-Force Touch Pad from High-Aspect-Ratio Copper Nanowires with Enhanced Oxidation Resistance for Applications in Wearable Electronics", Small Methods, 2, 1800077, (2018).
S. Choi, J. Park, W. Hyun, J. Kim, J. Kim, Y. B. Lee, C. Song, H. J. Hwang, J. H. Kim, T. Hyeon, and D. H. Kim, "Stretchable Heater Using Ligand-Exchanged Silver Nanowire Nanocomposite for Wearable Articular Thermotherapy", ACS Nano, 9, 6626, (2015).

상세보기
M. Yang, Z. D. Hood, X. Yang, M. Chi and Y. Xia "Facile synthesis of Ag@Au core-sheath nanowires with greatly improved stability against oxidation", Chem. Commun, 53, 1965, (2017).

상세보기
S. Gong, W. Schwalb, Y. Wang, Y. Chen, Y. Tang, J. Si, B. Shirinzadeh and W. Cheng, "A wearable and highly sensitive pressure sensor with ultrathin gold nanowires", Nature Communications, 5, 3132, (2014).

상세보기
S. Choi, S. I. Han, D. Jung, H. J. Hwang, C. Lim, S. Bae, O. K. Park, C. M. Tschabrunn, M. Lee, S. Y. Bae, J. W. Yu, J. H. Ryu, S. W. Lee, K. Park, P. M. Kang, W. B. Lee, R. Nezafat, T. Hyeon, and D. H. Kim, "Highly conductive, stretchable and biocompatible Ag-Au core-sheath nanowire composite for wearable and implantable bioelectronics", Nature Nanotechnology, 13, 1048, (2018).

상세보기
S. Gong, D. T. H. Lai, B. Su, K. J. Si, Z. Ma, L. W. Yap, P. Guo, and W. Cheng, "Highly Stretchy Black Gold E-Skin Nanopatches as Highly Sensitive Wearable Biomedical Sensors", Adv. Electron. Mater., 1, 1400063 (2015).

상세보기
J. T. Muth, D. M. Vogt, R. L. Truby, Y. Menguc, D. B. Kolesky, R. J. Wood, and J. A. Lewis, "Embedded 3D Printing of Strain Sensors within Highly Stretchable Elastomers", Adv. Mater., 26, 6307 (2014).

상세보기
T. Q. Trung, N. T. Tien, D. Kim, M. Jang, O. J. Yoon, and N. E. Lee, "A Flexible Reduced Graphene Oxide Field-Effect Transistor for Ultrasensitive Strain Sensing", Adv. Funct. Mater., 24, 117 (2014).

상세보기

저자의 다른 논문 :

표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 논문명, 저널/프로시딩명, 저자 , 발행년, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, 발행기관 관리번호, 논문명, 대등논문명, 저자 , 저널/프로시딩명, 발행기관, 발행년, 발행언어, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, ISBN, ISSN, 주제분야, 키워드, 초록(한글), 초록(영문), 저자(소속기관)
저장형식	Text(ASCII format) Excel format RefWorks Direct Export RIS format (for Reference Manager, ProCite, EndNote), Scholar's Aids, Mendeley
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증