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전해연마면의 표면경도 향상을 위한 플라즈마 이온질화 처리법에 관한 실험적 연구
A experimental study about plasma ion treatment to improve hardness of electro-polished surface 원문보기

한국금형공학회지 = Journal of the Korea Society of Die & Mold Engineering, v.13 no.1, 2019년, pp.13 - 18  

김진범 (인천대학교 기계공학과) ,  홍필기 (인천대학교 기계공학과) ,  서태일 (인천대학교 기계공학과) ,  손창우 (인천대학교 기계공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The size and prospects of the domestic semiconductor equipment market are increasing every year. In the case of various parts used inside semiconductor equipments, high durability such as high strength and abrasion resistance is demanded. Particularly, the gases used in semiconductor production proc...

주제어

#Electro-polishing   #Hardness   #Mechanical polishing   #Nitride   #Plasma  

참고문헌 (8)

  1. G. H. Lee, E. S. Lee, M. K. Lee, J. S. Kim and I. J. Bae, "Internal Flow Analysis and Structural Design in Plastic Automatic Control Valve for the Semiconductor Chemical Liquid," Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, Vol. 21(2), pp. 311-315, 2012. 

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  2. D. Landolt, "Fundamental aspects of electropolishing," Electrochimica Acta, Vol. 32, pp. 1-11, 1987. 

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  3. R. Rokicki and T. Hryniewicz, "Enhanced oxidation dissolution theory of electropolishing," Transaction of the Institute of Metal Finishing, Vol. 90, pp. 188-196, 2012. 

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  4. F. Nazneen, P. Galbin, D. W. M. Arrigan, M. Thompson, P. Benvenuto and G. Herzog, "Electro-polishing of medical-grade stainless steel in preparation for surface nano-texturing," Journal of Solid State Electrochemistry, Vol. 16, pp. 1389-1397, 2012. 

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  5. E. S. Lee, "Machining characteristics of the electropolishing of stainless steel(STS316L)," The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol. 16(8), pp. 591-599, 2000. 

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  6. S. J. Lee and J. J. Lai, "The effects of electropolishing (EP) process parameters on corrosion resistance of 316L stainless steel," Journal of Material Processing Technology, Vol. 140, pp. 206-210, 2003. 

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  7. J. K. Lee, J. H. Park, T. H. Song, K. K. Ryoo and Y. B. Lee, "A study on mirror surface manufacturing process for solar cell," Journal Korean Academia-Industrial Cooperation Society, Vol. 4, No. 1, pp. 47-49, 2003. 

  8. E. Rolinski, "Effect of plasma nitriding temperature on surface properties of Austenitic Stainless Steel," Journal Surface Engineering, Vol. 3, pp. 35-40, 2013. 

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