최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.32 no.5, 2019년, pp.371 - 375
윤건주 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) , 박진수 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) , 김재민 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) , 조재현 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) , 배상우 (삼성전자 Foundry 개발QA그룹) , 김진석 (삼성전자 Foundry 개발QA그룹) , 김현후 (두원공과대학교 디스플레이공학과) , 이준신 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
Developing a thin-film transistor with characteristics such as a large area, high mobility, and high reliability are key elements required for the next generation on displays. In this paper, we have investigated the research trends related to improving the reliability of oxide-semiconductor-based th...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
NBIS 환경에서 높은 신뢰성을 얻을 수 있는 방법은? | 게이트 절연층에 사용되는 물질, 채널층을 이중으로 적층하는 소자의 구조적 변화 등 음의 게이트 전압 바이어스 하에서 광을 조사 시 임계전압이 음의 방향으로 이동하는 특성을 개선하기 위한 다양한 방법의 연구가 계속해서 진행 중이다. 게이트 절연체로 사용된 Si3N4보다 SiO2가 더 높은 에너지 레벨을 갖기 때문에 NBIS 환경에서 특성이 열화되는 메커니즘 중 홀 트랩핑 효과로 인해 임계전압이 음의 방향으로 이동하는 문제를 개선할 수 있다. 이와 같은 원리로 SiO2/Si3N4 이중층 구조를 적용하여 더 높은 신뢰성을 얻을 수 있었다. | |
ZnO 박막의 특징은? | 산화물 반도체에 대한 연구는 ZnO, SnO2 등의 이성분계로부터 진행되었으며 특히 ZnO는 열처리를 통해 박막 트랜지스터의 활성층으로 사용할 수 있는 특성이 발표되면서 많은 관심을 받았다 [4]. 하지만 ZnO 박막은 증착 과정에서 결정화가 쉽게 발생하여 비정질상을 얻기가 어렵고, 결정립계의 존재로 인해 박막 트랜지스터 소자의 전자 이동도 및 임계전압의 불안정성, 캐리어 농도를 조절하기에 어렵다는 단점이 제기되었다. 이와 같은 문제점을 보완하기 위해서 ZnO에 Al, Ga, In 등을 도핑하여 삼성분계의 산화물 반도체를 만들었고 이후 2004년 말 Hideo Hosono 교수의 연구그룹은 캐리어 농도와 전도도를 개선하기 위해 In과 Ga을 도핑한 비정질 IGZO TFT를 개발하면서 산화물 반도체의 가능성을 알리고 주목을 받게 되었다 [5]. | |
(a-IGZO) 반도체는 어디에 활용될 수 있는가? | 비정질 인듐-갈륨-아연 산화물(a-IGZO) 반도체는 스퍼터와 같은 증착 장비를 이용하여 상온에서 균일한 박막을 얻을 수 있고, 높은 전계 효과 이동도, 양호한 게이트 스윙, 3.4 eV의 넓은 밴드 갭을 가지므로 가시광 영역에 대한 투명함을 보이는 등 액정 디스플레이,투명 디스플레이 및 유기 발광 다이오드 디스플레이와 같은 고급 평면 패널 디스플레이를 위한 백플레인 전자장치에서 채널 재료로서 많은 관심을 끌어왔다 [1-3]. 산화물 반도체에 대한 연구는 ZnO, SnO2 등의 이성분계로부터 진행되었으며 특히 ZnO는 열처리를 통해 박막 트랜지스터의 활성층으로 사용할 수 있는 특성이 발표되면서 많은 관심을 받았다 [4]. |
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
오픈액세스 학술지에 출판된 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.