[논문]전계효과트랜지스터 기반 반도체 소자 응용을 위한 스프레이 공정을 이용한 nc-ZnO/ZnO 박막 제작 및 특성 분석

조준희

[국내논문] 전계효과트랜지스터 기반 반도체 소자 응용을 위한 스프레이 공정을 이용한 nc-ZnO/ZnO 박막 제작 및 특성 분석
Morphological and Electrical Characteristics of nc-ZnO/ZnO Thin Films Fabricated by Spray-pyrolysis for Field-effect Transistor Application 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.20 no.4, 2021년, pp.1 - 5

조준희 (상명대학교 전자공학과)

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Field-effect transistors based on solution-processed metal oxide semiconductors has attracted huge attention due to their intrinsic characteristics of optical and electrical characteristics with benefits of simple and low-cost process. Especially, spray-pyrolysis has shown excellent device performance which compatible to vacuum-processed Field-effect transistors. However, the high annealing temperature for crystallization of MOS and narrow range of precursors has impeded the progress of the technology. Here, we demonstrated the nc-ZnO/ZnO films performed by spray-pyrolysis with incorporating ZnO nanoparticles into typical ZnO precursor. The films exhibit preserving morphological properties of poly-crystalline ZnO and enhanced electrical characteristics with potential for low-temperature processability. The influence of nanoparticles within the film was also researched for realizing ZnO films providing good quality of performance.

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참고문헌 (15)

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