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MgO-Al2O3-SiO2계 유리의 열물성과 내플라즈마성 연구
Study on Thermal Properties and Plasma Resistance of MgO-Al2O3-SiO2 Glass 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.20 no.2, 2021년, pp.61 - 66  

윤지섭 (한국세라믹기술원) ,  최재호 (한국세라믹기술원) ,  정윤성 (한국세라믹기술원) ,  민경원 (한국세라믹기술원) ,  임원빈 (한양대학교 신소재공학과) ,  김형준 (한국세라믹기술원)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, we studied the alternative of plasma resistant ceramic parts that constitute plasma chambers in the semiconductor dry etching process. MgO-Al2O3-SiO2(MAS) glass was made of 13 types of glass using the Design Of Experiments(DOE) and the effect on thermal properties such as glass transi...

주제어

#Plasma resistance   #Plasma etching   #Alkaline-earth glass   #DOE(Design Of Experiments)  

참고문헌 (14)

  1. Park, E. K., Lee, H -K. (2020), "Fabrication of Plasma Resistance Y 2 O 3 -Al 2 O 3 -SiO 2 Coating Ceramics by Melt-Coating Methods", Korea J. Mater. Res, Vol. 30, No. 7. 

  2. Kim, D. -M., Jang, M. -R., Oh, Y. -S., Lee, S. -M., & Lee, S. -H. (2017), "Relative sputtering rates of oxides and fluorides of aluminum and yttrium", Surface and Coatings Technology, 309, 694-697. 

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  3. Choi, J. H., Park, H, B., Na, H., & Kim, H. -J. (2019), "Plasma corrosion resistance of RO-Al 2 O 3 -SiO 2 (R: Alkaline earth) under fluorocarbon plasma with Ar+: II. Plasma resistant glass", Corrosion Science, 146, 247-253. 

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  4. Lee, J., Kim, D., Lee, S., & Kim. H. (2012), "Effect of rare-earth elements on the plasma etching behavior of the Re-Si-Al-O glasses", Journal of Non-Crystalline Solids, 358(5), 898-902. 

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  5. Choi, J. H., Na, H., Park, J., & Kim, H. -J. (2019), "Plasma corrosion resistance of Aluminosilicate glasses containing Ca, Y and B under fluorocarbon plasma with Ar+", Journal of Non-Crystalline Solids, 521, 119486. 

  6. Park, J., J H Choi., Na, H., & Kim, H. -J. (2021), "Effect of CaF 2 on fluorocarbon plasma resistance and thermal properties of CaO-Al 2 O 3 -SiO 2 glasses", Journal of Asian Ceramic Societies, Vol. 9, No. 1, 311-317. 

  7. S. B. Lee., MINITAB Release 17, eretech, Korea(2017). 

  8. Na, H., Park, J., Choi, S. -C., & Kim H. -J. (2019), "The effect of composition of plasma resistance of CaO-Al 2 O 3 -SiO 2 glasses under Fluorocarbon Plasma with Ar+", Applied Surface Science, 476, 663-667. 

  9. Park, J., Na, H., Park, J -H, D. -G., Choi, S. -C, Kim, H. -J. (2020), "Divalent ion mixed effect of calcium aluminosilicate glasses(CAS) on thermal properties and fluorocarbon plasma resistance", Journal of Non-Crystalline Solids, 533, 119897. 

  10. Salman, S. M., & Salama, S. N. (1985), "Thermal expansion data of some alkali aluminosilicate glassed and their respective glass-ceramics", Thermochimica Acta, 90, 261-276. 

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  11. Kjeldsen, J., Smedskjaer, M. Mauro, J, C., Youngman, R. E., Huang, L., & Yue, Y. (2013), "Mixed alkaline earth effect in sodium aluminosilicate glasses", Journal of Non-Crystalline Solids, 369, 61-68. 

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  12. G. Y. Yeom., Plasma Etching Technology (in Korean), p. 20, YOUNG, Korea(2012). 

  13. K-B. Kim, D-M. Kim, Lee, J., Y-S. Oh., H-T. Kim., H-S. Kim. & S-M. Lee, "Erosion Behavior of YAG Ceramics under Fluorine Plasma and their XPS Analysis", Jounral of the Korean Ceramic Society, Vol. 46, No. 5, pp 456-461, 2009. 

  14. M. W. chase, NIST-JANAF Thermochemical tables, fourth edition, J. Phys. Chem. Ref Data 9(1998) 1-1951 Monograph. 

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