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유기 킬레이터들을 이용한 구리 식각에 대한 반응성 평가
Reactivity Evaluation on Copper Etching Using Organic Chelators 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.31 no.10, 2021년, pp.569 - 575  

김철희 (인하대학교 화학과) ,  임은택 (인하대학교 화학공학과) ,  박찬호 (인하대학교 화학과) ,  박성용 (인하대학교 화학공학과) ,  이지수 (인하대학교 화학공학과) ,  정지원 (인하대학교 화학공학과) ,  김동욱 (인하대학교 화학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The reactivity evaluation of copper is performed using ethylenediamine, aminoethanol, and piperidine to apply organic chelators to copper etching. It is revealed that piperidine, which is a ring-type chelator, has the lowest reactivity on copper and copper oxide and ethylenediamine, which is a chain...

주제어

참고문헌 (19)

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