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원자층 증착방법에 의한 Al2O3 박막의 OLED Thin Film Encapsulation에 관한 연구
Study on the OLED Thin Film Encapsulation of the Al2O3 Thin Layer Formed by Atomic Layer Deposition Method
원문보기
반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.1, 2022년, pp.67 - 70
김기락 (가천대학교 전자공학과) , 조의식 (가천대학교 전자공학과) , 권상직 (가천대학교 전자공학과)
Abstract
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In order to prevent water vapor and oxygen permeation in the organic light emitting diodes (OLED), Al2O3 thin-film encapsulation (TFE) technology were investigated. Atomic layer deposition (ALD) method was used for making the Al2O3 TFE layer because it has superior barrier performance with advantage...
주제어
참고문헌 (12)
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