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[국내논문] ALD 아르곤 퍼지유량에 따른 Al2O3박막 분석 및 유기발광 다이오드 봉지막 적용에 관한 연구
A Study on the Al2O3 Thin Film According to ALD Argon Purge Flow Rate and Application to the Encapsulation of OLED 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.22 no.1, 2023년, pp.23 - 27  

이동운 (가천대학교 전자공학과) ,  김기락 (가천대학교 전자공학과) ,  조의식 (가천대학교 전자공학과) ,  전용민 (가천대학교 의공학과) ,  권상직 (가천대학교 전자공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Organic light-emitting diode(OLED) is very thin organic films which are hundreds of nanometers. Unlike bottom-emission OLED(BEOLED), top-emission OLED(TEOLED) emits light out the front, opaque moisture absorbents or metal foils can't be used to prevent moisture and oxygen. And it is difficult to hav...

주제어

#Organic light-emitting diode (OLED)   #Top emission organic light-emitting diode (TEOLED)   # $Alq_3$   #NPB   #Atomic Layer Depositon (ALD)   #Thin Film Encapsulation (TFE)   # $Al_2O_3$  

참고문헌 (10)

  1. XU, R.-P., LI Y.-Q., et al. "Recent advances in flexible？organic light-emitting diodes." Journal of Materials？Chemistry, C 4, 9116-42 (2016). 

    상세보기

  2. S. J. Kwon,"Effects on the Al2O3 Thin Film by the Ar？Pulse Time in the Atomic Layer Deposition" Journal of？the Semiconductor & Display Technology, vol. 20 no.4,？pp. 157-160 (2021). 

  3. S. J. Kwon, "Study on the Atomic Layer Deposition？System and Process of the MgO Thin Layer for the Thin？Film Encapsulation of OLED" Journal of the Semiconductor & Display Technology, vol.20 no.3, pp. 22-26？(2021). 

  4. S. J. Kwon, "Study on the OLED Thin Film Encapsulation of the Al2O3 Thin Layer Formed by Atomic？Layer Deposition Method" Journal of the Semiconductor & Display Technology, vol.22 no.1, pp. 67-70？(2022). 

  5. Choi, Geun Su, "Light Efficiency Enhancement Technology of OLED: Fabrication of Random Nano External Light Extraction Composite Layer" Journal of the？Semiconductor & Display Technology, vol.21 no.3, pp.？39-44 (2022). 

  6. Kim, Hyeun Woo, "Characteristics Evaluation of Al2O3？ALD Thin Film Exposed to Constant Temperature and？Humidity Environment" Journal of the Semiconductor？& Display Technology, vol.21 no.2, pp. 11-14 (2022). 

  7. Baek, Dong-Hyun,"Development of Micro-hemisphere？Flexible PDMS Film for Enhancing Light Extraction in？Organic Light-emitting Devices" Journal of the Semiconductor & Display Technology, vol.21 no.4, pp.11-14？(2022). 

  8. Kim, Jae-Bum, Duk-Ryel Kwon, Ki-Young Oh, and？Chong-Mu Lee. "Physical Properties of the Al2O3Thin？Films Deposited by Atomic Layer Deposition." Korean？Journal of Materials Research. The Materials Research？Society of Korea, vol.12 no.6, pp493-498 (2002). 

  9. Yang, Chang-Soo, Jung-Sik Kim, Jang-Woo Choi, Moo？Hyun Kwon, Young-Joo Kim, Jeong-Gil Choi and？Geung-Tae Kim. "XPS Study of Aluminum Oxides？Deposited on PET Thin Film." Journal of Industrial and？Engineering Chemistry 6 vol.6, no.3, pp149-156. (2000) 

  10. Hui Gon Chun,"Interfacial Microstructure and Electrical？Properties of Al2O3/Si Interface of Mono-crystalline？Silicon Solar Cells" Journal of the Semiconductor &？Display Technology, vol. 12 no.3, pp. 41-46 (2013). 

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