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[국내논문] MgO-Al2O3-SiO2계 유리 열물성 및 내플라즈마 특성에 대한 Fluorine 첨가의 영향
Effects of Fluorine Addition on Thermal Properties and Plasma Resistance of MgO-Al2O3-SiO2 Glass 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.1, 2022년, pp.119 - 126  

윤지섭 (한국세라믹기술원) ,  최재호 (한국세라믹기술원) ,  정윤성 (한국세라믹기술원) ,  민경원 (한국세라믹기술원) ,  김형준 (한국세라믹기술원)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

MAS-based glass, which has been studied to replace the ceramic material used in the plasma etching chamber, has problems such as forming and processing due to its high melting temperature. To solve this problem, in this study, fluoride was added to the existing MAS-based glass to increase the workab...

Keyword

#Plasma etching   #Plasma resistant   #Fluoride glass   #Alkaline earth glass  

참고문헌 (21)

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