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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.35 no.3, 2022년, pp.232 - 240
차영광 ((주)비츠로이엠 기술연구소) , 이일회 ((주)비츠로이엠 기술연구소) , 전기범 ((주)비츠로이엠 기술연구소) , 장지훈 ((주)비츠로이엠 기술연구소) , 주흥진 ((주)비츠로이엠 기술연구소) , 최승길 (신안산대학교 전기과)
A variable vacuum capacitor (VVC), which is a variable element, is used to match impedance in plasma that changes with various impedance values, and its use is expanding with the rapid growth of the semiconductor business. Since VVCs have to secure insulation performance and vary capacitance within ...
J. Min and Y. Suh, Proc. of the KIPE Conference (KIPE, Korea, 2020) p. 193.
G. C. Martins and W. A. Serdijn, Proc. IEEE Transactions on Circuits and Systems II: Express Briefs, 63, 833 (2016) p. 833. [DOI: https://doi.org/10.1109/TCSII.2016.2534738]
B. Couraud, R. Vauche, S. N. Daskalakis, D. Flynn, T. Deleruyelle, E. Kussener, and S. Assimonis, J. Low Power Electron. Appl., 11, 16 (2021). [DOI: https://doi.org/10.3390/jlpea11020016]
Vacuum Capacitor (VC), MEIDEN Review Series No.177, 2019, No.3.
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L. Pingnan, H. Hao, F. Tao, J. Qing, X. Wenlin, and W. Zhunfei, Spiral Electrode for Vacuum Capacitor, and Vacuum Capacitor Thereof, CN Patent 2012-20572608, November 1, 2012.
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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