[특허]유전 상수 엔지니어링된 인시츄 전하 트랩 재료들을 이용한 고온 정전 척킹

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 H01L-021/687
출원번호	10-2022-7014031 (2022-04-26)
공개번호	10-2022-0054731 (2022-05-03)
등록번호	10-2579197-0000 (2023-09-12)
우선권정보	미국(US) 14/469,573 (2014-08-26)
국제출원번호	PCT/US2015/039296 (2015-07-07)
국제공개번호	WO 2016/032628 (2016-03-03)
번역문제출일자	2022-04-26
DOI	http://doi.org/10.8080/1020227014031
발명자 / 주소	쿨쉬레쉬타, 프라산트 쿠마르 / 미국 *** 캘리포니아 새너제이 잔커 로드 유니트 리, 광덕 더글라스 / 미국 * 캘리포니아 레드우드 시티 건터 레인 * 김, 복 헌 / 미국 *** 캘리포니아 새너제이 스털링 게이트 드라이브 예, 청 존 / 미국 * 캘리포니아 산타 클라라 화이트 드라이브 * 베헤라, 스와얌브후 프라사드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 그라나다 애비뉴 아파트먼트 #* 발라수브라마니안, 가네쉬 / 미국 *** 캘리포니아 써니베일 사우스 올프 로드 아파트먼트 디 로차-알바레즈, 주안 카를로스 / 미국 * 캘리포니아 샌 카를로스 시더 스트리트 첸, 지안 제이. / 미국 *** 캘리포니아 프리몬트 카멘 스트리트 ***
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	특허법인 남앤남
심사청구여부	있음 (2022-04-26)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

프로세싱 챔버에서 섭씨 약 300도를 초과하는 온도들에서 정전 척의 전압 누설을 실질적으로 감소시키면서 브레이크다운 전압을 증가시키기 위한 방법들 및 장치들을 위한 기법들이 개시된다.

대표청구항 ▼

기판 지지 어셈블리로서,상부 표면, 원통형 측벽 및 하부 표면을 갖는 실질적으로 디스크-형상의 세라믹 본체(ceramic body) ― 상기 상부 표면은 진공 프로세싱 챔버에서 상기 상부 표면 위에 기판을 지지하도록 구성되고, 상기 원통형 측벽은 상기 세라믹 본체의 외측 직경(outer diameter)을 정의하며, 상기 하부 표면은 상기 상부 표면 반대쪽에 배치됨 ― ; 상기 세라믹 본체 내에 배치된 전극; 및 상기 상부 표면에 부착되고 상기 상부 표면을 완전히 덮는, 실리콘 및 탄소 함유 층을 포함하며, 상기 실리콘 및 탄소 함유 층은 상기 상부 표면 상에 지지되는 상기 기판과 접촉하도록 구성되며,상기 실리콘 및 탄소 함유 층은 5 중량% 미만의 탄소 함유량을 갖고, 상기 디스크-형상의 세라믹 본체가 섭씨 300도 초과의 온도에 있을 때 상기 실리콘 및 탄소 함유 층의 유전 상수를 3 내지 12로 조정하고 그리고 누설률을 25 mA 또는 그 미만으로 제한하도록 구성되고,상기 실리콘 및 탄소 함유 층은 100 Å 내지 3,000 Å의 두께를 갖는 적어도 하나의 인시츄(in-situ) 증착된 층을 포함하고, 그리고상기 실리콘 및 탄소 함유 층은 적어도 100 MV/cm의 브레이크다운 전압을 갖는,기판 지지 어셈블리.

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

유전 상수 엔지니어링된 인시츄 전하 트랩 재료들을 이용한 고온 정전 척킹 원문보기

초록

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (2)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format