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입자 구형도에 따른 레이저 선가공의 비구형 흄 마이크로 입자 산포 특성 연구
Dispersion Characteristics of Nonspherical Fume Micro-Particles in Laser Line Machining in Terms of Particle Sphericity 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.2, 2022년, pp.1 - 6  

김경진 (금오공과대학교 기계시스템공학과) ,  박중윤 (금오공과대학교 기계시스템공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This computational investigation of micro-sized particle dispersion concerns the fume particle contamination over target surface in high-precision laser line machining process of semiconductor and display device materials. Employing the random sampling based on probabilistic fume particle generation...

주제어

#Laser Machining   #Fume Particle   #Particle Dispersion   #Particle Sphericity   #Trajectory Simulation  

참고문헌 (11)

  1. Cho, K. W. and Park, H. J., "Laser Processing Technology in Semiconductor and Display Industry", Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 27, pp. 32-38, 2010. 

  2. Dubey, A. K. and Yadava, V., "Laser Beam Machining - A Review", International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 48, pp. 609-628, 2008. 

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  3. Powell, J., CO 2 Laser Cutting, 2ndEd., Springer-Verlag: London, 1998. 

  4. Malkusch, W., Rehn, B, and Bruch, J, ''In Vitro Method for Medical Risk Assessment of Laser Fumes", Optics and Laser Technology, Vol. 27, pp. 39-43, 1995. 

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  5. Vassie. R., Roach, R. J., Tyrer, J. R., and Sharp, B. L., ''Fumes Generated During Laser Processing of Polyvinyl Chloride (PVC)", Optics and Laser Technology, Vol. 27, pp. 31-37, 1995. 

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  6. Kim, K., "A Study on Dispersion Behaviors of Fume Particles in Laser Cutting Process of Optical Plastic Thin Films", Journal of the Semiconductor and Display Technology, Vol. 18, pp. 62-68, 2019. 

  7. Kim, K., "Downward and Upward Air Flow Effects on Fume Particle Dispersion in Laser Line Cutting of Optical Plastic Films", Journal of the Semiconductor and Display Technology, Vol. 19, pp. 37-44, 2020. 

  8. Kim, K. and Park, J. Y., "Assessment of Air Flow Misalignment Effects on Fume Particle Removal in Optical Plastic Film Cutting Process", Journal of the Semiconductor and Display Technology, Vol. 19, pp. 51-58, 2020. 

  9. Kim, K. and Park, J. Y., "Fume Particle Dispersion in Laser Micro-Hole Machining with Oblique Stagnation Flow Conditions", Journal of the Semiconductor and Display Technology, Vol. 20, pp. 77-82, 2021. 

  10. Brown, P. B. and Lawler, D. F., "Sphere Drag and Settling Velocity Revisited", Journal of Environmental Engineering, Vol. 203, pp. 222-231, 2007. 

  11. Haider, A. and Levenspiel, O., "Drag Coefficient and Terminal Velocity of Spherical and Nonspherical Particles", Powder Technology, Vol. 58, pp. 63-70, 1989. 

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