[논문]Li3PO4/SiC의 후열처리에 의한 영향 및 전기적 특성 분석

이형진; 김민경; 오종민; 신원호; 박철환; 구상모

doi:10.7471/ikeee.2022.26.2.232

Li3PO4/SiC의 후열처리에 의한 영향 및 전기적 특성 분석
Analysis of post-annealing effect and electrical properties of Li3PO4/SiC 원문보기

전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE, v.26 no.2, 2022년, pp.232 - 239

이형진 (Kwangwoon University) , 김민경 (Kwangwoon University) , 오종민 (Kwangwoon University) , 신원호 (Kwangwoon University) , 박철환 (Kwangwoon University) , 구상모 (Kwangwoon University)

초록
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우리는 인산리튬(Li₃PO₄) 고체 상태 박막에 대한 후열처리의 영향을 분석했다. Li₃PO₄ 박막은 무선 주파수(RF) 스퍼터링에 의해 증착되었으며, 이후 200-400 ℃에서 박막을 열처리 했다. 샘플 표면의 SEM 이미지는 열처리된 샘플가 열처리되지 않은 샘플 사이의 형태에 유의미한 차이를 나타내지 않았다. XRD 분석은 샘플이 비정질과 유사한 구조로 구성되어 있음을 나타낸다. 열처리 후 결합 에너지의 변화는 XPS 분석에 의해 확인하였으며, -6 V에서의 누설 전류 밀도는 400 ℃에서 열처리된 소자가 열처리되지 않은 소자에 비해 약 7.15배 더 낮은 것으로 측정되었다. 후열처리 온도가 증가함에 따라 누설전류가 감소함을 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

We analyzed the effect of post-annealing on lithium phosphate (Li3PO4) solid-state thin-film. Li3PO4 thin films were deposited by radio frequency (RF) sputtering, with subsequent annealing of the films at 200-400 ℃. SEM imaging of the sample surfaces showed no significant difference in morphology between the annealed and non-annealed samples. XRD analysis indicated that the samples consist of an amorphous-like structure. Post-annealing changes in binding energy were confirmed by XPS analysis, while the leakage current density at -6 V was measured to be about 7.15 times lower in a device that had been annealed at 400 ℃ vs a non-annealed device. It was confirmed that the leakage current decreased with increasing post-annealing temperature.

주제어

표/그림 (4)

그림 Fig. 1. Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) images for 100 k magnification. Li₃PO₄ thin film annealed under different conditions. (a) As-deposited, (b) annealed at 400 ℃. 그림 1. 100 k 배율의 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 이미지. 다른 조건에서 열처리된 Li₃PO₄ 박막. (a) 열처리를 하지 않은 박막, (b) 400 ℃에서 열처리된 박막
$Fig. 2. X-ray diffraction (XRD) peak of Li3PO4 thin film annealed under different conditions. 그림 2. 다른 조건에서 열처리된 Li3PO4 박막의 X선 회절(XRD) 피크$ 그림 Fig. 2. X-ray diffraction (XRD) peak of Li₃PO₄ thin film annealed under different conditions. 그림 2. 다른 조건에서 열처리된 Li₃PO₄ 박막의 X선 회절(XRD) 피크
그림 Fig. 3. Chemical structural analysis of as fabricated Li₃PO₄ using XPS (a) Model chemical structure of Li₃PO₄ (b) O 1s (c) Li 1s and (d) P 2p. 그림 3. XPS를 사용하여 제작된 Li₃PO₄ 화학 구조 분석 (a) Li₃PO₄의 화학적 모델 구조 (b) O 1s (c) Li 1s (d) P 2p
그림 Fig. 4. Current-Voltage (I-V) characteristics of the manufactured Li₃PO₄/4H-SiC films annealed at different temperatures at (a) linear plot (b) log scale plot. 그림 4. 다양한 온도에서 열처리된 Li₃PO_4/4H-SiC 박막의 전류-전압(I-V) 특성 (a) 선형 플롯 (b) 로그 범위 플롯

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표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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