[논문]스프레이 공정을 이용한 nc-ZnO/ZnO 전계효과트랜지스터 제작 및 특성 분석

조준희

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스프레이 공정을 이용한 nc-ZnO/ZnO 전계효과트랜지스터 제작 및 특성 분석
The Study of nc-ZnO/ZnO Field-effect Transistors Fabricated by Spray-pyrolysis Process 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.3, 2022년, pp.22 - 25

조준희 (상명대학교 전자공학과)

Abstract ▼ AI-Helper

Metal oxide semiconductor (MOS) based on spray-pyrolysis deposition technique has attracted large attention due to simple and low-cost processibility while preserving their intrinsic optical and electrical characteristics. However, their high process temperature limits practical applications. Here, we demonstrated the nc-ZnO/ZnO field-effect transistors (FETs) via spray-pyrolysis as incorporating ZnO nanocrystalline nanoparticles into typical ZnO precursor. The nc-ZnO/ZnO FETs exhibit good quality of electrical properties. Our experiments reveal that nc-ZnO in active layer enhance electrical characteristics.

주제어

참고문헌 (9)

K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, "Room-temperature fabrication of transparent flexible thin-film transistors using amorphous oxide semiconductors," Nature, vol. 432, pp. 488-492, Nov. 2004.

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I. Seo, and S. Ryu, "Structural and Electrical Properties of Aluminum Doped ZnO Electrodes Prepared by Atomic Layer Deposition for Application in Organic Solar Cells," Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 13, No. 2, pp.1-6, 2014.
A. Kolodziejczak-Radzimska and T. Jesionowski, "Zinc Oxide-From Synthesis to Application: A Review," Materials, vol. 7, no. 4, pp. 2833-2881, Apr. 2014.

상세보기
W.-H. Lee, W.-T. Jang, J.-S. Kim and S.-N. Lee, "Top-emission Electroluminescent Devices based on Gadoped ZnO Electrodes," Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 16, No. 2, pp.44-48, 2017.
M. Yu and J. Jo, "Sputtering Growth of ZnO Thin-Film Transistor Using Zn Target," Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 13, No. 3, pp.35-38, 2014.
D. Yoo, H. Kim, J. Kim and J. Jo, "Current Variation in ZnO Thin-Film Transistor under Different Annealing Conditions," Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 13, No. 1, pp.63-66, 2014.
D. Afouxenidis, R. Mazzocco, G. Vourlias, P.J. Livesley, A. Krier, W.I. Milne, O. Kolosov and G. Adamopoulos, "ZnO-based Thin Film Transistors Employing Aluminum Titanate Gate Dielectric Deposited by Spray Pyrolysis at Ambient Air," ACS Appl. Mater. Interfaces vol.7, Issue 13, pp.7334-7341, Apr. 2015.
Y.-Y. Noh, X. Cheng, H. Sirringhaus, J. I. Sohn, M. E. Welland, and D. J. Kang, "Ink-jet printed ZnO nanowire field effect transistors," Appl. Phys. Lett., vol. 91, no. 4, p. 043109, Jul. 2007.

상세보기
J. Cho, "Morphological and Electrical Characteristics of nc-ZnO/ZnO Thin Film Fabricated by Spray-pyrolysis for Field-effect Transistor Application," Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 20, No. 4, pp.1-5, 2014.

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