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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.3, 2022년, pp.105 - 109
척원서 (가천대학교 전자공학과) , 마상민 (가천대학교 전자공학과) , 전용민 (가천대학교 의공학과) , 권상직 (가천대학교 전자공학과) , 조의식 (가천대학교 전자공학과)
For the realization of higher reliable transition metal dichalcogenide layer, molybdenum disulfide was formed on sapphire substrate by direct current sputtering and subsequent rapid thermal annealing process. Unlike RF sputtered MoS2 thin films, DC sputtered showed no irregular holes and protrusions...
J. Tao, J. Chai, X. Lu, L. M. Wong, T. I. Wong, J. Pang, Q. Xiong, D. Chi, and S. Wang, "Growth of wafer-scale MoS2 monolayer by magnetron sputtering", Nanoscale, Vol. 7, pp.2497-2503, 2014.
Z. P. Ling, R. Yang, J. W. Chai, S. J. Wang, W. S. Leong, Y. Tong, D. Lei, Q. Zhou, X. Gong, D. Z. Chi, and K.-W. Ang, "Large-scale two-dimensional MoS 2 photodetector by magnetron sputtering", Opt. Exp., Vol. 23, pp.13580-13586, 2015.
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J. Moon, M. Y. Yin, S. J. Kwon, and E.-S. Cho, "Thickness Effects of Radio-Frequency-Sputtered Molybdenum Disulfide Films on Soda-Lime Glass Substrates", J. Nanosci. Nanotech., Vol. 19, pp.4719-4723, 2019.
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