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BCAT구조 DRAM의 패싱 워드 라인 유도 누설전류 분석
Analysis of Passing Word Line Induced Leakage of BCAT Structure in DRAM
원문보기
전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE, v.27 no.4, 2023년, pp.644 - 649
김수연 (Dept, of ICT Convergence System Engineering and Electronic Communication Engineering, Chonnam National University) , 김동영 (Dept, of ICT Convergence System Engineering and Electronic Communication Engineering, Chonnam National University) , 박제원 (Dept, of ICT Convergence System Engineering and Electronic Communication Engineering, Chonnam National University) , 김신욱 (Dept, of ICT Convergence System Engineering and Electronic Communication Engineering, Chonnam National University) , 임채혁 (Chonnam National University) , 김소원 (Chonnam National University) , 서현아 (Chonnam National University) , 이주원 (Chonnam National University) , 이혜린 (Chonnam National University) , 윤정현 (Chonnam National University) , 이영우 (Department of Computer Information and Communication Engineering in Chonnam National University) , 조형진 (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Central Florida) , 이명진 (Dept, of ICT Convergence System Engineering and Electronic Communication Engineering, Chonnam National University)
초록
DRAM(Dynamic Random Access Memory) 스케일링 과정에서 발생하는 셀간 거리의 감소에 따라 STI(Shallow Trench Isolation)두께 감소는 문턱이하 누설이 증가되는 패싱워드라인 효과를 유발한다. 인접한 패싱워드라인에 인가된 전압으로 인한 문턱이하누설 전류의 증가는 데이터 보존시간에 영향을 주며, 리프레시의 동작 횟수가 증가되어 DRAM의 소비 전력을 증가시키는 요인이 된다. 본 논문에서는 TCAD Simulation을 통해 패싱워드라인 효과에 대한 원인을 확인한다. 결과적으로, 패싱워드라인 효과가 발생하는 DRAM 동작상황을 확인하고, 이때 패싱워드라인 효과로 인해 전체 누설전류의 원인에 따른 비중이 달라지는 것을 확인하였다. 이를 통해, GIDL(Gate Induced Drain Leakage)에 의한 누설전류뿐만 아니라 문턱이하 누설전류를 고려의 필요성을 확인하며 이에 따른 DRAM 구조의 개선 방향의 지침이 될 수 있다.
Abstract
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As the cell spacing decreases during the scaling process of DRAM(Dynamic Random Access Memory), the reduction in STI(Shallow Trench Isolation) thickness leads to an increase in sub-threshold leakage due to the passing word line effect. The increase in sub-threshold leakage current caused by the volt...
주제어
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참고문헌 (10)
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- [본원] 대전광역시 유성구 대학로 245 한국과학기술정보연구원
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