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NTIS 바로가기한국분말재료학회지 = Journal of Powder Materials, v.30 no.1, 2023년, pp.53 - 64
조현희 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 이서현 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 윤은서 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 서지은 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 이진우 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 한동훈 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 남서아 (서울과학기술대학교 신소재공학과) , 한정환 (서울과학기술대학교 신소재공학과)
Atomic layer etching (ALE) is a promising technique with atomic-level thickness controllability and high selectivity based on self-limiting surface reactions. ALE is performed by sequential exposure of the film surface to reactants, which results in surface modification and release of volatile speci...
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