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PI 관측기 기반 반도체 장비 모터의 궤적 추종 제어기 설계
Trajectory Tracking Controller for Semiconductor Equipment Motors based on PI Observer 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.22 no.2, 2023년, pp.96 - 103  

조윤성 (명지대학교 전기공학과) ,  최현준 (명지대학교 전자공학과) ,  전상민 (명지대학교 전기공학과) ,  신지훈 (명지대학교 전기공학과) ,  이재영 (명지대학교 전기공학과) ,  이범주 (명지대학교 전기공학과) ,  손영익 (명지대학교 전기공학과)

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This paper presents a robust position tracking controller for a motor used in semiconductor equipment, utilizing the motor angle measurement. Precise position control is challenging due to the presence of uncertainties in various motor applications. The proposed controller consists of a PD (Proporti...

주제어

참고문헌 (25)

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