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정전형 8중극 비점수차 보정기가 내장된 극초소형 마이크로컬럼의 구조 설계 연구
Study on the Structural Design of an Ultra-miniaturized Microcolumn with a Built-in Electrostatic Octupole Stigmator 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.22 no.3, 2023년, pp.52 - 61  

오태식 (선문대학교 공과대학 디스플레이반도체공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We designed a novel ultra-miniaturized microcolumn structure having an stigmator to significantly improve throughput per unit time, which is the biggest disadvantage of microcolumns. We adopted the structure of the stigmator in the form of an electrostatic octupole electrode, and used an electrostat...

주제어

#Ultra-miniaturized Microcolumn   #Stigmator   #Deflector   #Field of View   #Astigmatism   #Ultra-high resolution  

참고문헌 (21)

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    상세보기

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