$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[해외논문] Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures

Applied surface science, v.173 no.1/2, 2001년, pp.15 - 21  

Aarik, Jaan (Institute of Materials Science, University of Tartu, Tä) ,  Aidla, Aleks (he 4, 51010 Tartu, Estonia) ,  Mändar, Hugo (Institute of Materials Science, University of Tartu, Tä) ,  Uustare, Teet (he 4, 51010 Tartu, Estonia) ,  Kukli, Kaupo (Institute of Materials Science, University of Tartu, Tä) ,  Schuisky, Mikael (he 4, 51010 Tartu, Estonia)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractHigh-temperature cubic phase of HfO2 was observed by reflection high-energy electron diffraction in nanocrystalline thin films grown by atomic layer deposition from HfCl4 and H2O at substrate temperatures of 880–940°C. The phase was formed at properly chosen precursor doses and...

Keyword

참고문헌 (19)

  1. J. Mater. Sci. Wang 27 5397 1992 10.1007/BF00541601 

  2. J. Mater. Sci. Lett. Leger 13 1688 1994 10.1007/BF00451741 

  3. Phys. Rev. B Leger 48 93 1993 10.1103/PhysRevB.48.93 

  4. Thin Solid Films Ritala 250 72 1994 10.1016/0040-6090(94)90168-6 

  5. Appl. Phys. Lett. Kukli 68 3737 1996 10.1063/1.115990 

  6. Thin Solid Films Aarik 340 110 1999 10.1016/S0040-6090(98)01356-X 

  7. Langmuir Kytokivi 13 2717 1997 10.1021/la961085d 

  8. J. Electrochem. Soc. Kukli 144 300 1997 10.1149/1.1837399 

  9. Nanostruc. Mater. Kukli 8 785 1997 10.1016/S0965-9773(98)00003-8 

  10. Phil. Mag. Lett. Aarik 73 115 1996 10.1080/095008396180911 

  11. J. Cryst. Growth Aarik 181 259 1997 10.1016/S0022-0248(97)00279-0 

  12. J. Cryst. Growth Aarik 148 268 1995 10.1016/0022-0248(94)00874-4 

  13. Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Card 21-0904. 

  14. Joint Committee on Powder Diffraction Standards, File 8-342. 

  15. J. Am. Ceram. Soc. El-Shanshoury 53 264 1969 10.1111/j.1151-2916.1970.tb12090.x 

  16. Joint Committee on Powder Diffraction Standards, File 34-104. 

  17. Surf. Sci. McCartney 250 169 1991 10.1016/0039-6028(91)90719-9 

  18. Appl. Phys. Lett. Bellotto 63 2056 1993 10.1063/1.110590 

  19. Chem. Mater. Srinivasan 7 725 1995 10.1021/cm00052a018 

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 논문

해당 논문의 주제분야에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로