[논문]Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures

doi:10.1016/S0169-4332(00)00859-X

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[해외논문] Phase transformations in hafnium dioxide thin films grown by atomic layer deposition at high temperatures

Applied surface science, v.173 no.1/2, 2001년, pp.15 - 21

Aarik, Jaan (Institute of Materials Science, University of Tartu, Tä) , Aidla, Aleks (he 4, 51010 Tartu, Estonia) , Mändar, Hugo (Institute of Materials Science, University of Tartu, Tä) , Uustare, Teet (he 4, 51010 Tartu, Estonia) , Kukli, Kaupo (Institute of Materials Science, University of Tartu, Tä) , Schuisky, Mikael (he 4, 51010 Tartu, Estonia)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractHigh-temperature cubic phase of HfO2 was observed by reflection high-energy electron diffraction in nanocrystalline thin films grown by atomic layer deposition from HfCl4 and H2O at substrate temperatures of 880–940°C. The phase was formed at properly chosen precursor doses and it was observed on the surface of films, which according to X-ray diffraction data consisted of monoclinic HfO2. The thickness of the surface layer, in which the cubic phase appeared, was estimated to be 5–10nm. According to Auger electron spectroscopy data, formation of the cubic phase was accompanied with an increase in the ionicity of O–Hf bonds.

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참고문헌 (19)

J. Mater. Sci. Wang 27 5397 1992 10.1007/BF00541601

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J. Mater. Sci. Lett. Leger 13 1688 1994 10.1007/BF00451741

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Phys. Rev. B Leger 48 93 1993 10.1103/PhysRevB.48.93

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Thin Solid Films Ritala 250 72 1994 10.1016/0040-6090(94)90168-6

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Appl. Phys. Lett. Kukli 68 3737 1996 10.1063/1.115990

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Thin Solid Films Aarik 340 110 1999 10.1016/S0040-6090(98)01356-X

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Langmuir Kytokivi 13 2717 1997 10.1021/la961085d

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J. Electrochem. Soc. Kukli 144 300 1997 10.1149/1.1837399

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Nanostruc. Mater. Kukli 8 785 1997 10.1016/S0965-9773(98)00003-8

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Phil. Mag. Lett. Aarik 73 115 1996 10.1080/095008396180911

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J. Cryst. Growth Aarik 181 259 1997 10.1016/S0022-0248(97)00279-0

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J. Cryst. Growth Aarik 148 268 1995 10.1016/0022-0248(94)00874-4

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Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Card 21-0904.
Joint Committee on Powder Diffraction Standards, File 8-342.
J. Am. Ceram. Soc. El-Shanshoury 53 264 1969 10.1111/j.1151-2916.1970.tb12090.x

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Surf. Sci. McCartney 250 169 1991 10.1016/0039-6028(91)90719-9

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Appl. Phys. Lett. Bellotto 63 2056 1993 10.1063/1.110590

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Chem. Mater. Srinivasan 7 725 1995 10.1021/cm00052a018

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