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[해외논문] Subaperture stitching wavelength scanning interferometry for 3D surface measurement of complex-shaped optics 원문보기
Measurement science & technology, v.32 no.4, 2021년, pp.045201 -
Seo, Yong Bum , Joo, Ki-Nam , Ghim, Young-Sik , Rhee, Hyug-Gyo
Abstract
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AbstractSubaperture stitching wavelength scanning interferometry with a high-accuracy multi-axis position stage is proposed for measuring complex surface shapes such as aspherical and freeform optics. Typical optical approaches suffer due to poor fringe visibility when it comes to complex-shaped opt...
참고문헌 (25)
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Proc. ASPE Leach 110 2015 Is one step height enough?
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