[논문]Fermi level dependent properties of hydrogen in crystalline silicon

doi:10.1016/0921-5107(95)01253-2

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Fermi level dependent properties of hydrogen in crystalline silicon

Materials science & engineering B, Solid-state materials for advanced technology, v.36 no.1/3, 1996년, pp.112 - 115

Csaszar, W. (Siemens Corporate Research and Development, ZFE T EP 2, D-81730 Munich, Germany) , Endrös, A.L. (Siemens Corporate Research and Development, ZFE T EP 2, D-81730 Munich, Germany)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractWe present the results of a (D)DLTS investigation of the dissociation of bond-centre hydrogen (H+/0) from substitutional carbon. To vary the Fermi level three different shallow dopant concentrations are used and the annealing is performed under zero and reverse bias conditions over a wide temperature range from 240 to 315 K. It is demonstrated clearly that H at the bond-centre site is not only more stable in the positive charge state than in the neutral one but also more stable in samples with low electron concentrations, as predicted by theory. A quantitative description of the dissociation mechanism is obtained.

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참고문헌 (23)

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Appl. Phys. Lett. Pantelides 50 995 1987 10.1063/1.97957

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Phys. Rev. Lett. Zhang 65 2575 1990 10.1103/PhysRevLett.65.2575

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Phys. Rev. Lett. Endros 63 70 1989 10.1103/PhysRevLett.63.70

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J. Appl. Phys. Endros 72 2264 1992 10.1063/1.351620

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J. Appl. Phys. Yoneta 70 1295 1991 10.1063/1.349586

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Phys. Rev. B Maric 47 I 3620 1993 10.1103/PhysRevB.47.3620

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Phys. Rev. B Haller 21 4729 1980 10.1103/PhysRevB.21.4729

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Phys. Rev. Lett. Denteneer 62 1884 1989 10.1103/PhysRevLett.62.1884

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Phys. Rev. Lett. Csaszar 73 312 1994 10.1103/PhysRevLett.73.312

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Phys. Rev. Lett. Holm 66 2360 1991 10.1103/PhysRevLett.66.2360

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Smith 87 1959 Semiconductors
Solid-State Electronics Kimerling 21 1391 1978 10.1016/0038-1101(78)90215-0

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Bourgoin 255 1983 Point Defects in Semiconductors II. Experimental Aspects
Phys. Rev. B Kimerling 3 427 1971 10.1103/PhysRevB.3.427

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J. Heyman, A.L. Endros and E.E. Haller, unpublished.

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