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NTIS 바로가기Journal of micromechanics and microengineering.: structures, devices, and systems, v.12 no.4, 2002년, pp.444 - 449
Brunet, Magali , O'Donnell, Terence , O'Brien, Joe , McCloskey, Paul , Mathuna, Seán Cian Ó
This paper reports the fabrication of coils for micro-magnetic devices on silicon using thick photoresists commonly used in the manufacture of microelectromechanical systems. A comparison of three photoresists, EPON SU-8, AZ 4562 and AZ 9260, is presented for the fabrication of high aspect ratio con...
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