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NTIS 바로가기Microelectronic engineering, v.69 no.1, 2003년, pp.57 - 64
Ahn, Seungjoon (Department of Physics) , Kim, Dae-Wook (Department of Physics) , Kim, Ho Seob (Department of Physics) , Ahn, Seong Joon (Division of Electronics, Informations and Communication Engineering, Sun Moon University, Ahsan, Chungnam 336-840, South Korea) , Cho, Jaewon (Department of Electrophysics, Kwangwoon University, Seoul 139-701, South Korea)
AbstractFor a miniaturized electron beam system application, miniaturized electrostatic electron lenses and their assembly, called a microcolumn, have been fabricated using an active Q-switched 1.06 μm Nd:YAG pulsed laser beam. The laser micro-machining condition for 20 μm thick Si mem...
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