[논문]Fabrication of a miniaturized electron lens system and laser micro-machining condition for silicon membrane

doi:10.1016/S0167-9317(03)00229-6

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[해외논문] Fabrication of a miniaturized electron lens system and laser micro-machining condition for silicon membrane

Microelectronic engineering, v.69 no.1, 2003년, pp.57 - 64

Ahn, Seungjoon (Department of Physics) , Kim, Dae-Wook (Department of Physics) , Kim, Ho Seob (Department of Physics) , Ahn, Seong Joon (Division of Electronics, Informations and Communication Engineering, Sun Moon University, Ahsan, Chungnam 336-840, South Korea) , Cho, Jaewon (Department of Electrophysics, Kwangwoon University, Seoul 139-701, South Korea)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractFor a miniaturized electron beam system application, miniaturized electrostatic electron lenses and their assembly, called a microcolumn, have been fabricated using an active Q-switched 1.06 μm Nd:YAG pulsed laser beam. The laser micro-machining condition for 20 μm thick Si membrane has been investigated by varying the pulse width and the effect of power density will be discussed. The geometrical structures of laser micro-machined electron lenses such as diameter, the roundness of the aperture wall and the degree of the thermal distortion are thought to be dependent on the characteristics of the individual laser pulse. A successful alignment of electron lenses using a simple laser diffraction pattern will be reported, also.

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참고문헌 (19)

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J. Vac. Sci. Technol. B Crewe 10 2754 1992 10.1116/1.585996

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Wolf 1995 Silicon Processing for the VLSI Era
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J. Appl. Phys. Beyer 70 75 1991 10.1063/1.350246

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Microelectronic Eng. Chang 32 113 1996 10.1016/0167-9317(95)00366-5

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