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NTIS 바로가기レーザー硏究 = The Review of laser engineering, v.32 no.12, 2004년, pp.744 - 749
岡崎 信次 (技術研)
EUV lithography is the most promising candidate for the replication of patterns for the 45-nm technology node and below. There are many issues in EUV lithography currently under intensive investigation. They concern (1) a high-power light source, (2) aspherical optics, (3) the exposure system, (4) m...
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