$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

탄화규소 (3C-SiC) 나노선 트랜지스터의 제작 및 2D ATLAS 시뮬레이션 비교 연구
Fabrication of 3C-SiC Nanowire Field-effect Transistors and Their Simulation Study by Using the 2D ATLAS Simulator

새물리 = New physics, v.57 no.5, 2008년, pp.342 - 346  

김동주 (전북대학교 반도체과학기술학과, 반도체물성연구소) ,  이승용 (전북대학교 반도체과학기술학과, 반도체물성연구소) ,  형정환 (전북대학교 반도체과학기술학과, 반도체물성연구소) ,  이상권 (전북대학교 반도체과학기술학과, 반도체물성연구소)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

본 연구에서는 탄화규소 나노선 트랜지스터를 제작하여 실제 소자의 전기적인 특성을 분석하였으며 실험에서 나타난 결과를 2D ATLAS 시뮬레이션을 이용하여 비교하였다. 실험에서 제작된 탄화규소 나노선은 hot-wall 방식의 화학기상증착 방법을 이용하여 합성하였으며, 지름은 40 ~ 100 nm 이다. 합성된 탄화규소 나노선을 후면 게이트 전계효과 트랜지스터 (back-gated field-effect transistors) 로 제작하였으며, 이를 2D ATLAS 시뮬레이션을 통해 탄화규소 나노선 트랜지스터 소자 동작특성을 비교 분석하였다. 2D ATLAS 시뮬레이션에서의 탄화규소 나노선의 길이와 채널의 길이, 지름은 제작된 소자와 같은 4 ㎛, 3 ㎛, 45 nm 이고, 일정한 전하 농도를 갖는다고 가정하였으며, 지름이 작아짐에 따라 나타나는 양자효과는 본 연구에서는 배제하였다. 실험결과와 시뮬레이션의 결과를 비교한 후 전하 농도가 1.5 × 1017 cm-3 일 때 전류 on/off ratio (Ion/Ioff) 와 이동도 (μ) 는 각각 6.16 과 3.06 × 103 cm2/V·s 를 갖는 소자 제작이 가능함을 알 수 있었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We report on the electrical characteristics of 3C-SiC nanowire (NW) field-effect transistors (FETs), which were prepared by using conventional electron-beam lithography (EBL). The SiC NWs used in the FETs were normally in the range of 40 ~ 100 nm. In addition, the current-voltage (I-V) characteristi...

주제어

#탄화규소 나노선   #나노선 트랜지스터   #시뮬레이션   #SiC Nanowire   #Nanowire transistor   #2D ATLAS simulation  

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로