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[해외논문] Ionization in inductively coupled argon plasmas studied by optical emission spectroscopy
Journal of applied physics, v.109 no.1, 2011년, pp.013306 -
Lee, Young-Kwang (Hanyang University Department of Electrical Engineering, , 17 Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul 133-791, South Korea) , Chung, Chin-Wook (Hanyang University Department of Electrical Engineering, , 17 Haengdang-dong, Seongdong-gu, Seoul 133-791, South Korea)
Abstract
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Contribution of stepwise ionization to total ionization was experimentally investigated in low-pressure inductively coupled argon plasmas. In the pressure range 3-50 mTorr, optical emission spectroscopy was employed to determine metastable fractions (metastable density relative to ground state densi...
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