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NTIS 바로가기電氣學會論文誌. IEEJ transactions on sensors and micromachines. E, センサ·マイクロマシン部門誌, v.129 no.12, 2009년, pp.433 - 438
吉原 晋二 ((株)デンソー) , 大原 淳士 ( 基礎研) , 安部 克則 (究所) , 竹内 ((株)デンソー) , 幸裕 ( 基礎研) , 川原 伸章 (究所)
We report that an ultra-small laser scanning module of millimeter size was realized. This laser scanning module consists of silicon substrate, a laser diode array with multi-emitter, and microprisms. The microprism measures 180μm wide, 100μm high, and 80μm thick. The smaller the optical ele...
(1) Y. Kimura, N. Matsushita, H. Koto, K. Abe, and K. Astumi : “High Power Pulsed Diode Laser for Automotive Scanning Radar Sensor”, SPIE Proceedings, Vol. 3888, pp. 759-766 (2000)
10.1109/JMEMS.2006.879380 (3) A. D. Yalcinkaya and H. Urey : “Journal of Microelectromechanical Systems”, Vol. 15, No. 4 (2006-8)
(4) K. Takahashi and K. Saruta : “Technical Meeting on Sensors and Micromachines 2004”, pp. 95-99 (2004)
(5) J. Ohara, K. Kano, and Y. Takeuchi : “A New Deep Reactve Ion Etching Process by Dual Sidewall Protection Layer”, Technical digest of MEMS 2000, pp. 277-282 (2000)
Ohara, Junji, Kano, Kazuhiko, Takeuchi, Yukihiro. New DRIE Process with Sidewall Protection Layer Formed by O2 Plasma Irradiation. 電氣學會論文誌. IEEJ transactions on sensors and micromachines. E, センサ·マイクロマシン部門誌, vol.123, no.12, 541-547.
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