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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집, 2004 May 01, 2004년, pp.223 - 228
홍원표 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 강은구 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 이석우 (한국생산기술연구원 나노가공팀) , 최헌종 (한국생산기술연구원 나노가공팀)
Miniaturization is the central theme in modern fabrication technology. Many of the components used in modern products are becoming smaller and smaller. The direct write FIB technology has several advantages over contemporary micromachining technology, including better feature resolution with low lat...
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