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NTIS 바로가기Japanese journal of applied physics. Part 1, Regular papers, short notes and review papers, v.37 no.12A, 1998년, pp.L1448 - L1451
Sanada, Masakazu , Nakano, Kayoko , Matsunaga, Minobu
The spin coating property for the reduction of the photoresist consumption was investigated experimentally using photoresist samples systematically. Dry film thickness D is affected by spin velocity ω : D=kω -1/2, where k is a constant. The photoresist samples can be characterized by a c...
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