$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Directed self-assembly of block copolymers for next generation nanolithography 원문보기

Materials today, v.16 no.12, 2013년, pp.468 - 476  

Jeong, S.J. ,  Kim, J.Y. ,  Kim, B.H. ,  Moon, H.S. ,  Kim, S.O.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Directed self-assembly of block copolymers has received a great deal of research attention as a promising nanolithography to complement the intrinsic limitations of conventional photolithography. In this review, we highlight the recent progress in the development of the directed self-assembly proces...

참고문헌 (79)

  1. 2012 International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) 2012 Edition 

  2. Annu. Rev. Phys. Chem. Bates 41 525 1990 10.1146/annurev.pc.41.100190.002521 

    상세보기 crossref

  3. Annu. Rev. Phys. Chem. Fredrickson 26 501 1996 

  4. Phys. Today Bates 52 32 1999 10.1063/1.882522 

    상세보기 crossref

  5. MRS Bull. Hawker 4 19 2005 

  6. Prog. Polym. Sci. Kim 35 1325 2010 10.1016/j.progpolymsci.2010.06.002 

    상세보기 crossref

  7. Science Park 276 1401 1997 10.1126/science.276.5317.1401 

    상세보기 crossref

  8. IBM J. Res. Dev. Black 51 605 2007 10.1147/rd.515.0605 

    상세보기 crossref

  9. Adv. Mater. Jeong 20 1898 2008 10.1002/adma.200702930 

    상세보기 crossref

  10. Nanotechnology Xia 20 225 2009 

  11. Adv. Mater. Lee 20 2480 2008 10.1002/adma.200702712 

    상세보기 crossref

  12. Adv. Mater. Kim 23 5618 2011 10.1002/adma.201103650 

    상세보기 crossref

  13. Soft Matter Kim 9 2780 2013 10.1039/c2sm27535j 

    상세보기 crossref

  14. Science Tang 322 429 2008 10.1126/science.1162950 

    상세보기 crossref

  15. Science Thurn-Albrecht 290 2126 2000 10.1126/science.290.5499.2126 

    상세보기 crossref

  16. Nature Kim 424 411 2003 10.1038/nature01775 

    상세보기 crossref

  17. Science Stoykovich 308 1442 2005 10.1126/science.1111041 

    상세보기 crossref

  18. Adv. Mater. Kim 19 3271 2007 10.1002/adma.200700957 

    상세보기 crossref

  19. Science Ruiz 321 936 2008 10.1126/science.1157626 

    상세보기 crossref

  20. Adv. Mater. Segalman 13 1152 2001 10.1002/1521-4095(200108)13:15<1152::AID-ADMA1152>3.0.CO;2-5 

    상세보기 crossref

  21. Nano Lett. Sundrani 4 273 2004 10.1021/nl035005j 

    상세보기 crossref

  22. Nat. Mater. Cheng 3 823 2004 10.1038/nmat1211 

    상세보기 crossref

  23. Adv. Mater. Park 19 607 2007 10.1002/adma.200601421 

    상세보기 crossref

  24. Adv. Mater. Ruiz 19 2157 2007 10.1002/adma.200602470 

    상세보기 crossref

  25. Science Bita 321 939 2008 10.1126/science.1159352 

    상세보기 crossref

  26. Nat. Nanotechnol. Yang 5 256 2010 10.1038/nnano.2010.30 

    상세보기 crossref

  27. Adv. Mater. Kim 20 2303 2008 10.1002/adma.200702285 

    상세보기 crossref

  28. Adv. Funct. Mater. Kim 19 2584 2009 10.1002/adfm.200900121 

    상세보기 crossref

  29. Macromolecules Shin 42 1189 2009 10.1021/ma8015745 

    상세보기 crossref

  30. Phys. Rev. Lett. Rockford 82 2602 1999 10.1103/PhysRevLett.82.2602 

    상세보기 crossref

  31. S. Tedesco, et al., IDeAL Program: DSA Activity at LETI. SOKUDO Lithography Breakfast (11 July 2012). 

  32. Y. Hishiro, et al., Applications of DSA for Lithography. SOKUDO Lithography Breakfast (11 July 2012). 

  33. Proc. SPIE Rathsack 8323 83230B-1 2012 10.1117/12.928431 

    crossref

  34. Proc. SPIE Bencher 7970 79700F 2011 10.1117/12.881293 

    crossref

  35. SOKUDO DUO, “Defect Free” DSA Patterning Spin-on Coat & Anneal Track, SOKUDO Lithography Breakfast (11 July 2012). 

  36. Small Kim 8 1563 2012 10.1002/smll.201101960 

    상세보기 crossref

  37. Adv. Mater. Lazzari 15 1583 2003 10.1002/adma.200300382 

    상세보기 crossref

  38. Polymer Park 44 6725 2003 10.1016/j.polymer.2003.08.011 

    상세보기 crossref

  39. Mater. Sci. Eng. R Segalman 48 191 2005 10.1016/j.mser.2004.12.003 

    상세보기 crossref

  40. Mater. Today Stoykovich 9 20 2006 10.1016/S1369-7021(06)71619-4 

    상세보기 crossref

  41. Adv. Mater. Cheng 18 2505 2006 10.1002/adma.200502651 

    상세보기 crossref

  42. Prog. Polym. Sci. Darling 32 1152 2007 10.1016/j.progpolymsci.2007.05.004 

    상세보기 crossref

  43. ACS Nano Black 1 147 2007 10.1021/nn7002663 

    상세보기 crossref

  44. Nat. Mater. Zhihong 7 277 2008 10.1038/nmat2109 

    상세보기 crossref

  45. J. Vac. Sci. Technol. Kim 26 1369 2008 10.1116/1.3000056 

    상세보기 crossref

  46. Adv. Mater. Bang 21 1 2009 

  47. Prog. Polym. Sci. Hamley 34 1161 2009 10.1016/j.progpolymsci.2009.06.003 

    상세보기 crossref

  48. Soft Matter van Zoelen 5 1568 2009 10.1039/b817093b 

    상세보기 crossref

  49. Adv. Mater. Yu 23 3337 2011 10.1002/adma.201101106 

    상세보기 crossref

  50. Angew. Chem. Int. Ed. Schacher 51 7898 2012 10.1002/anie.201200310 

    상세보기 crossref

  51. J. Polym. Sci. B: Polym. Phys. Hardy 51 2 2013 10.1002/polb.23174 

    상세보기 crossref

  52. J. Mater. Chem. C Ramanathan 1 2080 2013 10.1039/c3tc00930k 

    상세보기 crossref

  53. Soft Matter Park 6 120 2010 10.1039/B913853F 

    상세보기 crossref

  54. ACS Nano Cheng 4 4815 2010 10.1021/nn100686v 

    상세보기 crossref

  55. J. Vac. Sci. Technol. B Liu 28 2010 

  56. SPIE Proc. Somervell 8325 83251G-1 2012 10.1117/12.916149 

    crossref

  57. Nano Lett. Jeong 9 2300 2009 10.1021/nl9004833 

    상세보기 crossref

  58. Nano Lett. Jeong 10 3500 2010 10.1021/nl101637f 

    상세보기 crossref

  59. J. Mater. Chem. Moon 22 6307 2012 10.1039/c2jm15842f 

    상세보기 crossref

  60. ACS Nano Jeong 4 5181 2010 10.1021/nn101212q 

    상세보기 crossref

  61. J. Mater. Chem. Jeong 21 5856 2011 10.1039/c0jm04248j 

    상세보기 crossref

  62. Proc. SPIE Maltabes 1262 2 1990 10.1117/12.20090 

    crossref

  63. Proc. SPIE Tarutani 6923 69230F-1-8 2008 

  64. J. Photopolym. Sci. Technol. Tarutani 21 685 2008 10.2494/photopolymer.21.685 

    상세보기 crossref

  65. Adv. Polym. Sci. Ito 172 37 2005 10.1007/b97574 

    상세보기 crossref

  66. Adv. Mater. Yi 24 3107 2012 10.1002/adma.201200265 

    상세보기 crossref

  67. Polymer Nose 36 2243 1995 10.1016/0032-3861(95)95303-I 

    상세보기 crossref

  68. Macromolecules Russell 23 890 1990 10.1021/ma00205a033 

    상세보기 crossref

  69. Science Park 323 1030 2009 10.1126/science.1168108 

    상세보기 crossref

  70. Nano Lett. Jung 7 2046 2007 10.1021/nl070924l 

    상세보기 crossref

  71. Nano Lett. Jung 8 2975 2008 10.1021/nl802011w 

    상세보기 crossref

  72. Adv. Mater. Jung 21 2540 2009 10.1002/adma.200802855 

    상세보기 crossref

  73. Nano Lett. Jung 10 1000 2010 10.1021/nl904141r 

    상세보기 crossref

  74. ACS Nano Chuang 22007 2014 2008 

  75. Nano Lett. Jeong 11 4095 2011 10.1021/nl2016224 

    상세보기 crossref

  76. J. Am. Chem. Soc. Zalusky 124 12761 2002 10.1021/ja0278584 

    상세보기 crossref

  77. Macromolecules Hirai 42 8835 2009 10.1021/ma9018944 

    상세보기 crossref

  78. ACS Nano Kim 4 5464 2010 10.1021/nn101491g 

    상세보기 crossref

  79. Adv. Mater. Kim 25 1331 2013 10.1002/adma.201204131 

    상세보기 crossref
LOADING...

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD(Hybrid)

저자가 APC(Article Processing Charge)를 지불한 논문에 한하여 자유로운 이용이 가능한, hybrid 저널에 출판된 논문

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로