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[해외논문] Demonstration and Fabrication Tolerance Study of Temperature-Insensitive Silicon-Photonic MZI Tunable by a Metal Heater

Journal of lightwave technology : a joint IEEE/OSA publication, v.35 no.22, 2017년, pp.4903 - 4909  

Lee, Jong-Moo ,  Kim, Min-Su ,  Ahn, Joon Tae ,  Adelmini, Laetitia ,  Fowler, Daivid ,  Kopp, Christophe ,  Oton, Claudio J. ,  Testa, Francesco

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We present a temperature-insensitive tunable silicon-photonic Mach-Zehnder interferometer (MZI) filter fabricated by deep ultraviolet lithography. The wavelength shift of the MZI filter depending on temperature is reduced down to -4 pm/degrees C at similar to 1480 nm using a design with waveguide na...

참고문헌 (12)

  1. Seok-Hwan Jeong, Tanaka, Yu, Morito, Ken. 1 × 4 Channel Si-Nanowire Microring-Assisted Multiple Delayline-Based Optical MUX/DeMUX. Journal of lightwave technology : a joint IEEE/OSA publication, vol.33, no.17, 3736-3743.

  2. Horst, Folkert, Green, William M.J., Assefa, Solomon, Shank, Steven M., Vlasov, Yurii A., Offrein, Bert Jan. Cascaded Mach-Zehnder wavelength filters in silicon photonics for low loss and flat pass-band WDM (de-)multiplexing. Optics express, vol.21, no.10, 11652-.

  3. Lu, Liangjun, Zhou, Linjie, Sun, Xiaomeng, Xie, Jingya, Zou, Zhi, Zhu, Haike, Li, Xinwan, Chen, Jianping. CMOS-compatible temperature-independent tunable silicon optical lattice filters. Optics express, vol.21, no.8, 9447-.

  4. Uenuma, Mutsunori, Motooka, Teruaki. Temperature-independent silicon waveguide optical filter. Optics letters, vol.34, no.5, 599-.

  5. Sudbo, A Sv. Film mode matching: a versatile numerical method for vector mode field calculations in dielectric waveguides. Journal of the European Optical Society. Part A : Pure and applied optics, vol.2, no.3, 211-233.

  6. 10.1109/Group4.2013.6644437 

  7. Thomson, David, Zilkie, Aaron, Bowers, John E, Komljenovic, Tin, Reed, Graham T, Vivien, Laurent, Marris-Morini, Delphine, Cassan, Eric, Virot, Léopold, Fédéli, Jean-Marc, Hartmann, Jean-Michel, Schmid, Jens H, Xu, Dan-Xia, Boeuf, Frédéric, O’Brien, Peter, Mashanovich, Goran Z, Nedeljkovic, M. Roadmap on silicon photonics. Journal of optics, vol.18, no.7, 073003-.

  8. Jong-Moo Lee, Min-su Kim, Fournier, Maryse, Labeye, Pierre, Oton, Claudio J., Testa, Francesco. Postfabrication Trimming of CMOS-Compatible Athermal MZI by Thermal Annealing. Journal of lightwave technology : a joint IEEE/OSA publication, vol.34, no.4, 1288-1292.

  9. Guha, Biswajeet, Gondarenko, Alexander, Lipson, Michal. Minimizing temperature sensitivity of silicon Mach-Zehnder interferometers. Optics express, vol.18, no.3, 1879-.

  10. Testa, Francesco, Oton, Claudio J., Kopp, Christophe, Jong-Moo Lee, Ortuno, Ruben, Enne, Reinhard, Tondini, Stefano, Chiaretti, Guido, Bianchi, Alberto, Pintus, Paolo, Min-Su Kim, Fowler, Daivid, Ayucar, Jose Angel, Hofbauer, Michael, Mancinelli, Mattia, Fournier, Maryse, Battista Preve, Giovan, Zecevic, Nikola, Manganelli, Costanza L., Castellan, Claudio, Pares, Gabriel, Lemonnier, Olivier, Gambini, Fabrizio, Labeye, Pierre, Romagnoli, Marco, Pavesi, Lorenzo, Zimmermann, Horst, Di Pasquale, Fabrizio, Stracca, Stefano. Design and Implementation of an Integrated Reconfigurable Silicon Photonics Switch Matrix in IRIS Project. IEEE journal of selected topics in quantum electronics : a publication of the IEEE Communications Society, vol.22, no.6, 155-168.

  11. Dwivedi, Sarvagya, D'heer, Herbert, Bogaerts, Wim. A Compact All-Silicon Temperature Insensitive Filter for WDM and Bio-Sensing Applications. IEEE photonics technology letters : a publication of the IEEE Laser and Electro-optics Society, vol.25, no.22, 2167-2170.

  12. Handbook of Silicon Photonics vivien 2013 

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