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NTIS 바로가기Applied physics letters, v.59 no.9, 1991년, pp.1052 - 1054
Goree, J. (Department of Physics and Astronomy, The University of Iowa, Iowa City, Iowa 52242) , Sheridan, T. E. (Department of Physics and Astronomy, The University of Iowa, Iowa City, Iowa 52242)
A Monte Carlo simulation of electron transport is used to predict the dependence of the ionization efficiency on the magnetic field strength of a planar magnetron. This offers insight into the operation of the magnetron, and it also provides two valuable practical results. First, the efficiency incr...
J. Vac. Sci. Technol. A 6 1827 1988 10.1116/1.575263
J. Vac. Sci. Technol. A 8 30 1990 10.1116/1.577093
J. Vac. Sci. Technol. A 7 1014 1989 10.1116/1.576221
J. Vac. Sci. Technol. A 8 1623 1990 10.1116/1.576776
IEEE Trans. Plasma Sci. 19 301 1991 10.1109/27.106828
Appl. Phys. Lett. 57 2080 1990 10.1063/1.103947
J. Vac. Sci. Technol. A 4 196 1986 10.1116/1.573470
J. Vac. Sci. Technol. A 9 688 1991 10.1116/1.577344
J. Vac. Sci. Technol. A 8 1627 1990 10.1116/1.576777
IEEE Trans. Plasma Sci. 17 884 1989 10.1109/27.41228
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