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Evaluation of subsurface damage inherent to polished GaN substrates using depth-resolved cathodoluminescence spectroscopy 원문보기
Thin solid films, v.660, 2018년, pp.516 - 520
Lee, Jinhyung (SK Hynix) , Kim, Jong Cheol (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) , Kim, Jongsik (Korea Institute of Science and Technology) , Singh, Rajiv K. (Department of Materials Science and Engineering, University of Florida Gainesville) , Arjunan, Arul C. (Department of Materials Science and Engineering, University of Florida Gainesville) , Lee, Haigun (Department of Materials Science and Engineering, Korea University)
Abstract
AI-Helper
Abstract The extent of subsurface damage on (0001) GaN wafers post different polishing treatments was quantified using depth-resolved cathodoluminescence spectroscopy (DRCLS). The band edge emission spectra were obtained from CLS with different electron energies, which manifested a significant non-...
주제어
참고문헌 (24)
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- DOI : 10.1016/j.tsf.2018.07.002
- Elsevier : 저널 > 논문
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