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Roll-to-Roll fabrication of ITO thin film for flexible optoelectronics applications: The role of post-annealing
Materials science in semiconductor processing, v.88, 2018년, pp.51 - 56
Khachatryan, Hayk (Department of Inorganic Chemisty, Yerevan State University, 1 A.Manukyan st., Yerevan 0025, Armenia) , Kim, Dong-Ju (Department of Advanced Materials Engineering for Information and Electronics, Kyung Hee University, 1 Seocheon-dong, Yongin-si, Gyeonggi-do 446-701, Republic of Korea) , Kim, Moojin (Department of Electrical & Electronic Engineering, Jungwon University, Goesan-gun, Chungbuk, 367-805, Republic of Korea) , Kim, Han-Ki (School of Advanced Materials Science & Engineering, Sungkyunkwan University, 2066 Seobu-ro, Jangan-gu, Suwon, Gyeonggi-do 440-746, Republic of Korea)
Abstract
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We have developed and examined new and cost effective methods for fabrication indium fin oxide (ITO) film on flexible substrate. The ITO film is deposited to polyethylene terephthalate film using roll-to-roll (RTR) sputtering advanced technology. The film's properties are evaluated before and after ...
주제어
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원문 URL 링크
- DOI : 10.1016/j.mssp.2018.07.033
- Elsevier : 저널 > 논문
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