[논문]Investigation of the Mechanical/Thermal Properties of Nano-Scale Silicon Nitride Membranes

Jang, Yong Ju; Shin, Hyeon-Jin; Wi, Seong Ju; Kim, Ha Neul; Lee, Gi Sung; Ahn, Jinho

doi:10.3365/KJMM.2019.57.2.124

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[국내논문] Investigation of the Mechanical/Thermal Properties of Nano-Scale Silicon Nitride Membranes 원문보기

대한금속 . 재료학회지 = Korean journal of metals and materials, v.57 no.2, 2019년, pp.124 - 129

Jang, Yong Ju , Shin, Hyeon-Jin , Wi, Seong Ju , Kim, Ha Neul , Lee, Gi Sung , Ahn, Jinho

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참고문헌 (18)

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