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문제 정의
- 그러나, 자동화의 작업은 생산의 효율과 생산성에 직결되는 연유로 그 응용과 적용이 늦어질수록 도태될 수밖에 없는 실정이고, Time-To-Market, Time-To-Profit을 외치는 가전분야의 요구를 외면할 수 없을 것이다. 본 연구는 반도체 생산성에 지대한 영향을 미치는 수율을 위한 기본 연구를 진행하였으며, 제안서에서 설명하였듯이 통계적 방법과 분석적 방법을 제안하였다. 각각의 장단점과 가능성은 제안서에서 부각하였으나, 시간적 인력 둥의 연유로 통계적인 분석은 그 가능성을 보여주고 있으나, 분석적 방법에 대한 시도는 시행하지 못하였다.
- 25 마이크론이하의 반도체 생산, 설계 환경에서 수율의 가장 큰 요소로 작용하는 랜덤 디펙트를 고려하기 위하여서는 공정상의 통계적인 문제의 해결로는 불가능하고, 칩의 설계 단계에서부터 이를 고려하여 설계하거나 이를 피하기 위한 조치를 하여야 한다. 즉, 랜덤 디펙트를 제거 하거나 피하기 위한 목적이 수율 분석의 목적이라 하겠다.
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