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제안 방법
- 첫째로 RTP는 가열하기 전부터 기준온도에 대한 정보를 모두 알고 있으나, 일반적인 제어는 전적으로 causal이므로 기준온도에 대한 미래의 값을 예상할 수 없다. 둘째는 일반적인 제어는 수백 ℃의 온도오차나 1- 2°C 가량의 적은 오차까지도 둘 다 제어를 하도록 설계한다. 그러므로 두가지의 오차신호를 다 제어하는 것보 다 한가지의 오차만을 전담하여 제어하도록 하는 것이 훨씬 쉬운 방법일 것이다.
- 이번 논문에서는 이미 확정된 램프구조를 가지고, 각각 의 램프파워를 조절하여 균일도를 유지하면서 기준온도 에 대한 웨이퍼의 온도상승이 이루어지고, 또한 각종 외 란에도 기준온도를 잘 추종하기위해 PID제어기를 설계 하였다. 또한 RTP의 가장 큰 문제점들 중의 하나였던, 짧은 구간동안의 온도 급상승으로 인한 제어기의 순간적인 기준온도와의 커다란 오차을 오픈루프와 폐루프의 두 가지 제어 방법으로 해결할 수 있게 하였다. 온도균일 도 문제와 기준 온도 추종문제를 모두 풀기 위해 최소 자승법을 이용한 램프파워를 모두 구하여, 이 프로파일된 데이터들을 입력하였다.
- 가공 단계가 완료될 때까지 는 수십 초만이 필요하다. 램프의 파워는 각각 개별적으로, 혹은 그룹 천체가 동시에 웨이퍼의 온도제어를 위해 조절되어지는데, 이 논문에서 우리는 균일도를 잘 이루면서 기준입력에 따른 온도 추종이 잘 이루어지도록 개루프 형태와 폐루프 형태를 모두 이용하는 형태의 제어 방법을 사용한다.
- 또한 RTP의 가장 큰 문제점들 중의 하나였던, 짧은 구간동안의 온도 급상승으로 인한 제어기의 순간적인 기준온도와의 커다란 오차을 오픈루프와 폐루프의 두 가지 제어 방법으로 해결할 수 있게 하였다. 온도균일 도 문제와 기준 온도 추종문제를 모두 풀기 위해 최소 자승법을 이용한 램프파워를 모두 구하여, 이 프로파일된 데이터들을 입력하였다. 이로 인해 처음에는 다중입 력 다중출력의 MIM。시스템이던 것이 SISO로 바뀌어 균일도 문제는 고려하지 않고, 온도 추종에만 작동하는 제어기를 설계하는 방식이므로, 기준 온도 추종문제에도 쉽게 이용할 수 있었다.
- 이번 논문에서는 이미 확정된 램프구조를 가지고, 각각 의 램프파워를 조절하여 균일도를 유지하면서 기준온도 에 대한 웨이퍼의 온도상승이 이루어지고, 또한 각종 외 란에도 기준온도를 잘 추종하기위해 PID제어기를 설계 하였다. 또한 RTP의 가장 큰 문제점들 중의 하나였던, 짧은 구간동안의 온도 급상승으로 인한 제어기의 순간적인 기준온도와의 커다란 오차을 오픈루프와 폐루프의 두 가지 제어 방법으로 해결할 수 있게 하였다.
- 하나는 온도 균일도를 유지하여야한다는 것이고, 다른 하나는 600C와 100CTC에서는 기체주입에도 불구하고 그 온도를 일정한 시간동안 유지하여야 한다. 전자의 조건은 이득 값의 조정으로 해결하였고, 후자의 조건은 PID 제어기를 이용하여 해결하고자 한다.
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